[发明专利]用于执行辅助配方及批处理配方的方法及设备

权利要求书

1.一种在过程控制系统中用于执行辅助配方及批处理配方的装置，包括：

执行第一配方的模块；

在第一配方的执行完成之前识别辅助配方的模块；

在第一配方的执行完成之前确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点的模块；以及

在第一配方的执行完成之前执行所述辅助配方以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点的模块。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述辅助配方与所述第一配方分离。

3.如权利要求1所述的装置，在第一配方的执行完成之前执行所述辅助配方以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点的模块使用为所述第一配方保留的过程控制设备来执行所述辅助配方。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述输入点是所述第一配方的至少两个过程步骤之间的过渡点。

5.如权利要求1所述的装置，进一步包括在执行所述辅助配方之前暂停所述第一配方的执行以及在所述辅助配方的执行完成之后重新起动所述第一配方的模块。

6.如权利要求1所述的装置，其中所述第一配方与第一配方标识符相关，及其中所述辅助配方与等同所述第一配方标识符的第二配方标识符相关。

7.如权利要求6所述的装置，进一步包括根据所述第一配方标识符为所述第一配方保留设备以及根据等同所述第一配方标识符的所述第二配方标识符使所述辅助配方容易使用所述设备的模块。

8.如权利要求1所述的装置，进一步包括通过识别所述第一配方的至少两个过程步骤之间的过渡点来产生所述输入点以及确定在所述过渡点执行所述辅助配方不违反过程流程规则的模块。

9.一种在过程控制系统中用于配置供在批处理配方期间执行的辅助配方的方法，所述方法包括：

接收第一及第二配方；

识别所述第一配方中的至少两个过程步骤之间的过渡点；

确定所述第二配方能够在所述过渡点执行；以及

存储与所述第二配方相关的配方输入点，以响应确定所述第二配方能够在所述过渡点执行，其中所述配方输入点相应于所述过渡点。

10.如权利要求9所述的方法，其中“确定所述第二配方能够在所述过渡点执行”的步骤包括确定在所述过渡点执行所述辅助配方不违反过程流程规则。

11.如权利要求9所述的方法，其中确定“确定所述第二配方能够在所述过渡点执行”的步骤包括确定在所述过渡点执行所述辅助配方不抵触所述第一配方的执行。

12.如权利要求9所述的方法，其中所述配方输入点使得容易在所述第一配方的执行已经开始之后在所述配方输入点执行所述第二配方。

13.如权利要求9所述的方法，进一步包括产生错误信息，以响应确定所述第二配方不能在所述过渡点执行。

14.一种在过程控制系统中用于配置供在批处理配方期间执行的辅助配方的设备，所述设备包括：

配方分析器，其接收第一及第二配方；

阶段过渡识别器，其识别所述第一配方中的至少两个过程步骤之间的过渡点；

规则遵守校验器，其确定所述第二配方是否能够在所述过渡点执行；以及

输入点产生器，其存储与所述第二配方相关的配方输入点，以响应确定所述第二配方能够在所述过渡点执行。

15.如权利要求14所述的设备，其中所述规则遵守校验器通过确定在所述过渡点执行所述辅助配方不违反过程流程规则，从而确定所述第二配方是否能够在所述过渡点执行。

16.如权利要求14所述的设备，其中所述规则遵守校验器通过确定在所述过渡点执行所述辅助配方不抵触所述第一配方的执行，从而确定所述第二配方是否能够在所述过渡点执行。

17.如权利要求14所述的设备，其中所述配方输入点使得容易在所述第一配方的执行已经开始之后在所述配方输入点执行所述第二配方。

18.如权利要求14所述的设备，其中所述配方分析器产生错误信息，以响应所述规则遵守校验器确定所述第二配方不能在所述过渡点执行。