[发明专利]一种基于光栅导模共振技术的生物芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：它包括基底层（1），基底层（1）的上表面是钛薄膜层（2），钛薄膜层（2）的上表面是光栅波导层。

2.根据权利要求1所述的一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：基底层（1）为石英或玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：光栅波导层包括二氧化钛介质（3）和低折射率有机物介质（4），低折射率有机物介质（4）填充在二氧化钛介质（3）之间。

4.根据权利要求3所述的一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：低折射率有机物介质（4）的折射率为1.40—1.60，所述的低折射率有机物介质（4）为聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜、聚二甲基硅氧烷PDMS薄膜、聚丙烯酸酯薄膜，或聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜、聚二甲基硅氧烷PDMS薄膜、聚丙烯酸酯薄膜与硅烷偶联剂组成的混合物薄膜。

5.根据权利要求4所述的一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：硅烷偶联剂为γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷或γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。

6.如权利要求1所述的基于光栅导模共振技术的生物芯片的制备方法：它包括下述步骤：

步骤1、基底层镀膜，在选取的基底层（1）上镀上一层钛薄膜层（2）；

步骤2、清洗，将镀膜后的基底座清洗干净；

步骤3、光栅加工，将步骤2清洗干净的基底座加工成阵列的二氧化钛和空气的周期性光栅；

步骤4、将步骤3加工好光栅的基底座清洗干净；

步骤5、将步骤4加工好光栅的基底座用化学方法镀上低折射率有机物介质。

7.根据权利要求6所述的基于光栅导模共振技术的生物芯片的制备方法，其特征在于：步骤1所述的基底层（1）上镀上一层钛薄膜层（2）采用蒸镀，钛薄膜层（2）的厚度为1—3um。

8.根据权利要求6所述的基于光栅导模共振技术的生物芯片的制备方法，其特征在于：步骤3光栅加工方法为：将基底座放在原子力显微镜的大样品扫描台上，选择“纳米加工模式”输入光栅结构阵列位图，设定电压8.2V，电压脉宽87ms，扫描频率0.2HZ，并同时充入流速为0.1ml/s的干燥空气，开始加工，形成阵列的                                                和空气的周期性光栅。

9.根据权利要求6所述的基于光栅导模共振技术的生物芯片的制备方法，其特征在于：步骤5所述的化学方法为水溶液法或浸镀法。