[发明专利]具有导热装置的坩埚

说明书

技术领域

本发明涉及显示器件生产领域，尤其涉及一种有机电致发光显示器件有机材料镀膜机蒸镀用的具有导热装置的坩埚。

背景技术

平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件（Liquid Crystal Display，LCD）及有机电致发光显示器件（Organic Light Emitting Display，OLED）。

现有的液晶显示器件一般为背光型液晶显示器件，其包括：壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组（backlight module）。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转，从而将背光模组的光线折射出来产生画面。

请参阅图1，现有的液晶显示面板一般包括：薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）基板302与薄膜晶体管基板302相对贴合设置的彩色滤光片（Color Filter，CF）基板304及设于薄膜晶体管基板302与彩色滤光片基板304之间的液晶层306，所述薄膜晶体管基板302驱动液晶层306内的液晶分子转动，以显示相应的画面。

有机电致发光显示器件具备自发光、高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲、低能耗等特性，因此受到广泛的关注，并作为新一代的显示方式，已开始逐渐取代传统液晶显示器件，被广泛应用在手机屏幕、电脑显示器、全彩电视机等领域。有机发光显示器件与传统的液晶显示器件不同，其无需背光灯，直接在玻璃基板上设置非常薄的有机材料涂层，当有电流通过时，这些有机材料涂层就会发光。

现有的有机发光显示器件按驱动方式分类，包括：无源矩阵式有机电致发光显示器件（Passive-matrix organic light emitting diode，PMOLED）与有源矩阵式有机电致发光显示器件（Active-matrix organic light emitting diode，AMOLED），其中，请参阅图2，所述有源矩阵式有机电致发光显示器件一般包括：基板502、形成于基板502上的薄膜晶体管504及形成于薄膜晶体管504上的有机发光二极管506，所述薄膜晶体管504驱动有机发光二极管506发光，进而显示相应画面。

从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光显示器件分为小分子有机电致发光显示器件（OLED）和高分子电致发光显示器件(PLED)，由于分子量的不同，有机电致发光显示器件的制程也有很大的区别，OLED主要通过热蒸镀方式制备，PLED通过旋涂或者喷墨打印方式制备。

热蒸镀方式主要OLED蒸镀设备，在真空环境下（E-5Pa）加热有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下气化，沉积在有TFT结构或者阳极结构的基板上。目前主流的蒸镀源主要有点型蒸镀源、线型蒸镀源。点型蒸镀源主要用在实验线和早期的量产线，由于线型蒸镀源的材料利用率和膜厚均一性要优于点型蒸镀源，近期建设的量产线大部分使用线性蒸镀源。但由于点型蒸镀源的空间小，一个镀膜腔体里可以安装很多个点型蒸镀源，可以填入很多种材料，适用于实验线。

有机材料的蒸发温度与其裂解温度相差很小，点型蒸镀源的坩埚内部往往温差较大（上热下冷），若材料填入量较多，材料无法达到一个热平衡稳定的状态，蒸镀速率无法稳定；提高温度，使材料受热不均，往往上面的材料有裂解的风险。若材料填入量较少，在高蒸镀速率下，坩埚上部的温度往往超过材料的裂解温度，气化的材料在经过此段区域时容易裂解。

为解决此问题，目前主要使用导热小球，在往坩埚中填入有机材料时混入导热小球，通过导热小球的传热，使材料的温度均匀，但是此种方法只对升华型的材料有很好的效果，熔融型的材料由于在高温下熔融，导热小球与有机材料的密度不同，导热小球会渐渐的沉积于坩埚底部，无法很好的传热。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有导热装置的坩埚，其导热效果好，能使有机材料稳定气化，减少有机材料裂解的风险，进而提高蒸镀效果。

为实现上述目的，本发明提供一种具有导热装置的坩埚，包括：坩埚本体及设置于坩埚本体内的导热装置，所述导热装置呈树状，其包括散热主干及设于散热主干上的数层散热枝干，每层散热枝干包括数个枝干单元，所述枝干单元由所述散热主干的外表面向外延伸设置。

所述散热主干为一根圆柱状散热杆，其与所述坩埚本体的主轴大体平行。

所述散热枝干垂直于所述散热主干。