[发明专利]太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法有效
申请号: | 201310336630.1 | 申请日: | 2013-08-05 |
公开(公告)号: | CN104347755A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 赵宇;肖志斌;铁剑锐;许军 | 申请(专利权)人: | 天津恒电空间电源有限公司;中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人: | 李凤 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳电池 玻璃 制备 方法 | ||
1.太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,包括在复数个长方形玻璃衬底一面蒸镀氟化镁薄膜、在氟化镁薄膜上蒸镀ITO薄膜、在ITO薄膜上蒸镀电极后制成的单体玻璃盖片,用互联条将复数个单体玻璃盖片串联成一体,其特征在于:ITO薄膜制作过程包括:
⑴ITO置入坩埚,坩埚置入蒸发器中,采用全自动电子束加热真空蒸镀机,设置蒸发器的加热温度250-300℃、蒸发速率0.5-0.8nm/s、充氧含量30-50mbar,ITO材料在氟化镁薄膜上蒸镀出8-15nm厚的ITO薄膜;
⑵将蒸镀有ITO薄膜的玻璃衬底放在加热炉的托盘中,在大气中进行200-350℃、30-40min的退火处理,自然冷却到室温。
2.根据权利要求1所述的太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,其特征在于:所述蒸镀在ITO薄膜上电极的制作过程包括:在退火后ITO薄膜两角处依次蒸镀出金属化钛-钯-银构成的多层结构电极。
3.根据权利要求2所述的太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,其特征在于:所述钛-钯-银的厚度分别为钛300nm、钯100nm、银5000nm。
4.根据权利要求1所述的太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,其特征在于:所述复数个单体玻璃盖片串联过程包括:采用压合机,用互联条焊接电极,将复数个单体玻璃盖片制成两组串联玻璃盖片;每组串联玻璃盖片最外端的一个单体玻璃盖片的另一电极引出一互联条,两个引出的互联条均焊接在一个汇流条上。
5.根据权利要求1或4所述的太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,其特征在于:所述互联条为银箔互联条。
6.根据权利要求4所述的太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法,其特征在于:所述汇流条为ITO薄膜汇流条。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的