[发明专利]振动片、振子、振荡器以及电子设备

说明书

本发明专利申请是发明名称为“振动片、振子、振荡器以及电子设备”、申请日为2011年2月24日、申请号为“201110045508.X”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振动片、具备该振动片的振子、具备该振动片的振荡器以及具备该振动片的电子设备。

背景技术

在专利文献1中公开了如下的振动片，该振动片具有基部和从基部突出而形成的振动臂部(以下，称为振动臂)，并且在振动臂上形成有槽部，其中，在基部上形成有切入部(以下，称为缺口部)。

专利文献1的振动片通过在基部上形成缺口部，来减少从振动臂向基部的振动泄漏，从而实现CI(晶体阻抗)值(Q值)的偏差的抑制。

【专利文献1】日本特开2002-280870号公报

上述振动片通常利用蚀刻来形成外形形状。并且，在以石英为基材的振动片中，具有蚀刻速度根据相对于石英晶轴的方向而不同的蚀刻各向异性。

有时，由于该蚀刻各向异性，振动片的基部缺口部的前端部分发生过蚀刻(蚀刻过多)，从而从原本的位置向基部的中央侧进入，而例如形成为前端尖锐的楔形这样的应力容易集中的形状。

由此，振动片在掉落时等承受了冲击时，应力有可能集中在缺口部的前端部分，从而从该部分处发生破损。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而做出的，可作为以下的形态或适用例来实现。

[适用例1]

本适用例1的振动片是通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有沿着第1方向延伸的缺口；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述基部突出，在平面视中，上述缺口与通过上述振动臂的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想直线交叉，且具有多个被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度。

[适用例2]

在适用例1所述的振动片中，其特征在于，在平面视中，上述缺口延伸到通过上述基部的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想中心线与上述假想直线之间。

[适用例3]

在适用例1或2所述的振动片中，其特征在于，上述缺口的上述外缘包含相对于上述第1方向倾斜的部位。

[适用例4]

在适用例1所述的振动片中，其特征在于，上述振动片是音叉型石英振动片。

[适用例5]

在适用例4所述的振动片中，其特征在于，上述振动臂具有沿着上述第2方向延伸的槽。

[适用例6]

本适用例6的振动片是通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有缺口和连接部、第1部分以及第2部分，该缺口和连接部沿着第1方向排列，该第1部分沿着与上述第1方向交叉的方向排列在上述缺口和上述连接部的一侧，与上述连接部连接，该第2部分沿着上述交叉的方向排列在上述缺口和上述连接部的另一侧，与上述连接部连接；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述第1部分突出，在平面视中，上述缺口与通过上述振动臂的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想直线交叉，且具有多个被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度。

[适用例7]

在适用例6所述的振动片中，其特征在于，在平面视中，上述缺口延伸到通过上述连接部的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想中心线与上述假想直线之间。

[适用例8]

在适用例6或7所述的振动片中，其特征在于，上述缺口的上述外缘包含相对于上述第1方向倾斜的部位。

[适用例9]

在适用例6所述的振动片中，其特征在于，上述振动片是音叉型石英振动片。

[适用例10]

在适用例9所述的振动片中，其特征在于，上述振动臂具有沿着上述第2方向延伸的槽。

[适用例11]

本适用例11所述的振子，其特征在于，该振子具有：上述任意一项所述的振动片；以及收容上述振动片的封装。

[适用例12]

本适用例12所述的振荡器，其特征在于，该振荡器具有：上述任意一项所述的振动片；以及用于使上述振动片振动的振荡电路。

[适用例13]

本适用例13所述的电子设备，其特征在于，该电子设备具有上述任意一项所述的振动片。

附图说明