[发明专利]一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物及其应用

权利要求书

1.一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：包括重量百分数为0.0001-75％的表面催化剂，及余量的水。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：包括重量百分数为1-50％的表面催化剂，及余量的水。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：所述表面催化剂选自氨基酸类化合物、醇类化合物、酯类化合物、酮类化合物、有机酸、醚类化合物、铵类化合物、酰胺类化合物以及表面活性剂中的一种或几种。

4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：所述氨基酸类化合物主要选自水溶性氨基酸和极性氨基酸中的一种或几种，所述醇类化合物主要选自水溶性的1至7个碳原子的一元醇和水溶性的多元醇类化合物中一种或几种，所述酯类化合物主要选自水溶性的碳酸酯类化合物中的一种或几种，所述酮类化合物主要选自水溶性的3至10个碳原子的酮类化合物中的一种或几种，所述有机酸主要选自水溶性的1至20个碳原子的一元羧酸、水溶性的多元羧酸以及氟化的有机磺酸类化合物中的一种或几种，所述醚类化合物主要选自水溶性的醚类化合物中的一种或几种，所述铵类化合物主要选自水溶性的季铵盐和无机铵类化合物中的一种或几种，所述酰胺类化合物主要选自水溶性的酰胺类化合物中的一种或几种。

5.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：所述氨基酸类化合物选自甘氨酸、丙氨酸、丝氨酸、苏氨酸、半胱氨酸,酪氨酸,天冬氨酸、谷氨酰胺、赖氨酸、精氨酸、组氨酸、天冬氨酸和谷氨酸中的一种或几种,所述醇类化合物选自甲醇、异丙醇、季戊四醇、木糖醇、甲基丙二醇、丁氧基丙醇、乙二醇、丙三醇、二缩二乙二醇和1，2-丙二醇中的一种或几种；所述酯类化合物选自丙二醇碳酸酯、乙二醇碳酸酯和碳酸甲乙酯中的一种或几种，所述酮类化合物选自丙酮、丁酮、2-戊酮和苯丙酮中的一种或几种，所述有机酸选自癸二酸、胶酸、甲酸、三氟甲基磺酸、水杨酸、花生酸、单宁酸、软木酸、苹果酸、癸酸、月桂酸、鞣花酸、马来酸、醋酸，酒石酸、辛酸、草酸、肥酸、琥珀酸、柠檬酸、硬脂酸、豆蔻酸、缩苹果酸、杜鹃花酸和甲基丙烯酸中的一种或几种；所述醚类化合物选自亚烷基二醇单烷基醚和聚乙二醇中的一种或几种；所述铵类化合物选自二甲基乙基-2-羟乙基氢氧化铵、氟化铵、三甲基-3-羟丁基氢氧化铵、三甲基-3-羟丙基氢氧化铵、三丁基2-羟基乙基氢氧化铵和氟化四甲基铵中的一种或几种；所述酰胺类化合物选二甲基酰胺、聚乙烯吡咯烷酮的一种或几种；所述表面活性剂选自FS-10、FS-30、FS-31、FS-50、FS-81、FS-83、1157、1157D、1157N、1430、1440、1460、FS-3100、Dehypon^TMO054、FC-17、FC-23、FC-170、FC-171、FC-430、FC-431、FC-2000、FC-3000、FC-5000、FC-6000、Tergitol^TML61、Tergitol^TML62、Macol^TM16、17R2、17R4、25R2、25R4、31R1、10R5、TRITON^TMDF-1、TRITON^TMBG-10、TRITON^TMCG-50、TRITON^TMCG-110、TRITON^TMQS-44、TRITON^TMX-100、Tergitol^TM81和Tergitol^TM101中的一种或几种。

6.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：所述聚乙二醇的分子量在2000以下，所述聚乙烯吡咯烷酮的分子量在10000以下。

7.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物，其特征在于：所述水是去离子水。

8.权利要求1至7任一项所述辅助化学组合物在单晶硅或多晶硅制绒中的应用。