[发明专利]MEMS传声器

权利要求书

1.一种MEMS传声器，包括：

壳体，具有基本上实心的正面和基本上实心的背面，和侧面；

具有MEMS膜的底座，该底座安装在正面的声学端口的上方，MEMS膜背对正面；

底座内部的空的空间，超声波穿过该空的空间以到达MEMS膜，该空的空间的尺寸低于对于感兴趣的超声波在空气中的波长；以及

包含在背面的PCB盘，其用于将传声器安装在接收器中。

2.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中该正面包括印刷电路板。

3.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中该背面包括印刷电路板。

4.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中该空的空间不会对感兴趣的频率形成共振腔。

5.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，进一步包括安装在所述正面的放大器。

6.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述正面基本上实心，除了声学端口。

7.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述PCB盘包括位于所述背面的角的附近的四个PCB盘。

8.根据前述任一权利要求所述的MEMS传声器，其中存在大于25kHz的第一频率，在所述第一频率，所述传声器的灵敏度大于-60dB，0dB的定义为1伏特/每帕斯卡。

9.根据权利要求9所述的MEMS传声器，其中所述第一频率大于70kHz。

10.根据权利要求8-9中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述第一频率时的灵敏度大于-40dB。

11.根据权利要求8-10中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述第一频率时的灵敏度比20kHz时所述传声器的灵敏度低不到40dB。

12.根据权利要求8-11中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述第一频率时的灵敏度比在20kHz和所述第一频率之间的频率的灵敏度的最大值低不到40dB。

13.根据权利要求8-12中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中在20kHz和所述第一频率之间的某处，在至少40kHz内，灵敏度变化不超过6dB。

14.根据前述权利要求中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中对于大于20kHz的灵敏度在最灵敏频率的40dB内的操作频率范围，对于所述声学端口前面的方向，所述传声器的方向灵敏度变化不超过30dB。

15.根据前述权利要求中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述壳体包括平坦面，所述底座安装在所述平坦面上，所述MEMS膜的中心在所述壳体的最大直径的10％以内与所述平坦面的中心对准。

16.根据前述权利要求中任一权利要求所述的MEMS传声器，其最大尺寸小于7mm。

17.根据前述权利要求中任一权利要求所述的MEMS传声器，其中所述壳体不具有包括边长为2mm的立方体的内部空体积。

18.根据权利要求17所述的MEMS传声器，其中所述壳体不具有包括边长为1.5mm的立方体的内部空体积。

19.根据权利要求18所述的MEMS传声器，其中所述壳体不具有包括边长为1mm的立方体的内部空体积。