[发明专利]一种具有三加热器的蓝宝石晶体生长炉有效
| 申请号： | 201310340342.3 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN103469295A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;张俊;曹建伟;王巍;沈兴潮 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/20 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加热器 蓝宝石 晶体生长 | ||
1.一种具有三加热器的蓝宝石晶体生长炉，包括加热器，其特征在于，所述加热器为采用钨丝编织而成的网状加热器，加热器设有三个，分别为上部加热器、中部加热器和下部加热器，上部加热器和中部加热器分别安装在蓝宝石晶体生长炉的炉筒上部和中部的电极上，下部加热器安装在蓝宝石晶体生长炉的炉底板电极上。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，所述上部加热器、中部加热器和下部加热器分别竖直安装在对应电极上。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，所述上部加热器、中部加热器和下部加热器分别通过电极、水冷电缆与电源柜连接。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，所述电源柜分别设有能单独调节三个加热器加热功率的独立电源控制系统。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，所述加热器设置在蓝宝石晶体生长炉的坩埚与保温屏之间。
6.基于权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉的控制方法，其特征在于，利用所述蓝宝石晶体生长炉中的加热器对炉内进行加温时，上部加热器、中部加热器和下部加热器的功率符合K1: K2: K3，其中K1为上部加热器的功率， K2为中部加热器的功率，K3为下部加热器的功率，且满足公式K1=aP、K2=bP、K3=cP和a+b+c=100%，其中a、b、c为比例系数，a的取值范围为30%～40%，b的取值范围为30%～40%，c的取值范围为30%～40%，P为三个加热器上的总功率，P的取值范围为0～85千瓦。
7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述上部加热器、中部加热器和下部加热器上产生的热量分别满足公式Q=dU2，其中d为比例系数，d的取值范围为130～230，Q为上部加热器、中部加热器或者下部加热器上产生的热量，U为上部加热器、中部加热器或者下部加热器上的电压。
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