[发明专利]晶圆片生产工序间的双面刷洗设备

权利要求书

1. 一种晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：它包括机架（1）、控制系统（2）、晶圆片收纳装置（3）和活性剂供给装置（4）；

还包括双面刷洗装置（5），双面刷洗装置（5）包括刷洗支座（5-1）、刷洗机构和第一驱动机构，刷洗支座（5-1）安装在机架（1）上，刷洗机构具有多对同步转动的刷洗轴组件（5-2）和分别套装在相应的刷洗轴组件（5-2）上的毛刷（5-3），并且相邻的毛刷（5-3）位于待洗晶圆片的两侧，刷洗轴组件（5-2）可旋转地支承在刷洗支座（5-1）上，第一驱动机构驱动刷洗轴组件（5-2）旋转；

还包括具有若干组喷嘴（6-1）的移动喷淋装置（6），每组喷嘴（6-1）对应一对刷洗轴组件（5-2），并且位于该对刷洗轴组件（5-2）的上方；

还包括驱动辊装置（7），驱动辊装置（7）包括第二驱动机构和多根驱动辊（7-1）以及多组成对的摩擦轮（7-2），每组成对的摩擦轮（7-2）对应一对刷洗轴组件（5-2），并且位于该对刷洗轴组件（5-2）的下方以便支撑该处待洗晶圆片并使其旋转，摩擦轮（7-2）分别套装在相应的驱动辊（7-1）上，第二驱动机构驱动驱动辊（7-1）旋转；

还包括多个毛刷张开机构（8），每个毛刷张开机构对应一对刷洗轴组件（5-2），毛刷张开机构包括转轴（8-1）、摆臂（8-2）和摆缸（8-3），摆缸（8-3）通过摆缸固定板（8-4）安装在机架（1）上，摆缸（8-3）与转轴（8-1）活动连接，转轴（8-1）可旋转地支承在刷洗支座（5-1）上，摆臂（8-2）的一端固定连接在转轴（8-1）上，摆臂（8-2）的另一端与该对刷洗轴组件（5-2）的其中一个固定连接以便该刷洗轴组件（5-1）绕摆臂（8-2）旋转使该对刷洗轴组件（5-2）分离。

2.根据权利要求1所述的晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：所述的移动喷淋装置（6）还包括驱动电机（6-2）、直线滑台副（6-3）、喷管固定组件（6-4）和喷管（6-5），直线滑台副（6-3）上具有丝杠和螺母组成的丝杠螺母副（6-6），驱动电机（6-2）与丝杠活动连接，喷管（6-5）的一端安装在喷管固定组件（6-4）上，喷管固定组件（6-4）可滑动地安装在直线滑台副（6-3）上，并且喷管固定组件（6-4）与螺母固定连接，所述的多组喷嘴（6-1）安装在喷管（6-5）上并与其连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：每组喷嘴（6-1）包括活性剂喷嘴（6-1-1）和纯水喷嘴（6-1-2），所述的喷管（6-5）为双通道喷管，所述的喷管固定组件（6-4）上安装有对射开关检测板（6-6），所述的直线滑台副（6-3）上安装有与对射开关检测板（6-6）相匹配的对射开关（6-7）。

4.根据权利要求1所述的晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：所述的刷洗轴组件（5-2）包括弹簧（5-2-1）、两个卡接轴（5-2-2）和套装毛刷（5-3）的毛刷轴（5-2-3），所述的机架（1）上安装有和刷洗轴组件（5-2）对应的轴承座（9），毛刷轴（5-2-3）的两端分别与卡接轴（5-2-2）的一端卡接，卡接轴（5-2-2）的另一端分别支承在相对应的轴承座（9）上，所述的弹簧（5-2-1）安装在其中一个轴承座（9）内，并且其套装在卡接轴（5-2-2）上。

5.根据权利要求1所述的晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：所述的机架（1）的底部设置有滑轮组（1-1）。