[发明专利]一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置有效

专利信息
申请号: 201310347476.8 申请日: 2013-08-09
公开(公告)号: CN103419121A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 朱睿;吴沿鹏;郭隐彪;叶卉 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: B24B37/04 分类号: B24B37/04;B24B37/34;B24B49/14;H01L21/304
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 刘勇
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 温度 监控 磁悬浮 抛光 装置
【权利要求书】:

1.一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置;

防水罩绕设于底座上端周边,抛光盘固于防水罩上端,抛光盘底部设有涡状凹槽,电热丝嵌于涡状凹槽内,电热丝通过导电环与温控器电连接,温控器与计算机连接,弹力电磁条圈固于底座上表面,接收磁条圈固于抛光盘底面,弹力电磁条圈与接收磁条圈之间设有间距且上下对应,弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同,止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈,温度传感器设于工件夹具周边,温度传感器上设有无线传输模块,无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接,抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。

2.如权利要求1所述的一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,所述温控器为温控单片机。

3.如权利要求1所述的一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,所述温度传感器的数量设有4个。

4.如权利要求1所述的一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,所述防水罩为圆环形防水罩。

5.如权利要求1所述的一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,所述弹力电磁条圈由至少3块电磁条串联连接构成。

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