[发明专利]检测电路

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测电路，特别是涉及一种检测微机电系统位置的检测电路。

背景技术

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)是在微小化结构中所制作的微型电子机械元件，其制造的技术十分类似于制造集成电路的技术，但微机电系统装置与其周遭环境互动的方式则多于传统的集成电路，例如力学、光学或磁力上的互动。微机电系统装置可包括极小的电子机械元件，例如马达、泵浦、阀、开关、电容器、加速度计、感应器、电容感测器、像素、麦克风或致动器等。而这些电子机械元件通常利用微机械结构与集成电路等半导体元件共同作用以达到预设的目标。

微机电系统目前是快速发展的工业。此外，运用微机电系统而制成的光学元件，其在电信及计算机网络的领域上越来越重要。而目前激光微型投影机也应用了微机电系统光学元件，该元件为一微机电扫描镜，其驱动方式有电磁式和静电式二种，针对投影的影像输出必需要像素数据和微机电扫描镜的位置进行同步才能得到好的投影影像品质，因此如何准确地得知微机电系统元件的位置为一非常重要的课题。

发明内容

本发明提供一种检测电路，可准确地检测出微机电扫描镜的位置。

本发明的一种检测电路，适于检测微机电系统的位置。检测电路包括振荡器、锁相回路单元、第一低通滤波单元以及放大单元。其中振荡器的输入端耦接至微机电系统，依据微机电系统的等效电容值产生第一振荡讯号。锁相回路单元对第一振荡讯号进行锁相而输出锁相控制讯号。第一低通滤波单元耦接锁相回路单元，对锁相控制讯号进行低通滤波而产生滤波讯号。放大单元耦接第一低通滤波单元，放大滤波讯号，以产生检测讯号。

在本发明的一实施例中，上述的振荡器包括反相单元、第二低通滤波单元、回授电阻以及缓冲单元。其中反相单元的输入端耦接微机电系统。第二低通滤波单元耦接于反相单元的输入端与输出端之间。回授电阻耦接于反相单元的输入端与输出端之间。缓冲单元耦接于反相单元的输出端与锁相回路单元之间，缓冲反相单元输出的电压。

在本发明的一实施例中，上述的检测电路，还包括阻隔电容，其耦接于微机电系统与反相单元的输入端之间。

在本发明的一实施例中，上述的第二低通滤波单元包括电阻、电容与电感。其中电阻的一端耦接反相单元的输出端。电容耦接于电阻的另一端与接地之间。电感耦接于电阻与电容的共同接点与反相单元的输入端之间。

在本发明的一实施例中，上述的第一低通滤波单元包括电阻以及电容。其中电阻耦接于锁相回路单元的输出端与放大单元的输入端之间。电容耦接于放大单元的输入端与接地之间。

在本发明的一实施例中，上述的放大单元包括操作放大器、第一电阻以及第二电阻。其中操作放大器的正输入端耦接第一低通滤波单元。第一电阻耦接于操作放大器的负输入端与输出端之间。第二电阻耦接于操作放大器的负输入端与参考电压之间。

在本发明的一实施例中，上述的放大单元还包括第一分压电阻、第二分压电阻以及电容。其中第二分压电阻与第一分压电阻串联于操作电压与接地之间，第一分压电阻与第二分压电阻的共同接点用以产生参考电压。电容耦接于第一分压电阻与第二分压电阻的共同接点与接地之间。

基于上述，藉由振荡器来产生对应微机电系统的等效电容值变化的检测讯号，而由检测讯号的频率变化即可准确地得知微机电系统的位置。

为使本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并结合附图详细说明如下。

附图说明

图1示出了本发明一实施例的检测电路的方块图。

图2示出了图1的检测电路的电路示意图。

附图符号说明

100：检测电路

102：振荡器

104：锁相回路单元

106、202：低通滤波单元

108：放大单元

M1、C1～C4：电容

SO1：振荡讯号

SO2：锁相控制讯号

SD1：驱动讯号

SF1：滤波讯号

S1：检测讯号

A1：反相单元

B1：缓冲单元

L1：电感

R1～R7：电阻

OP1：操作放大器

VCC：操作电压

VR：参考电压

具体实施方式