[发明专利]压电装置

说明书

本申请为，中国国家申请号为201010589270.2、申请日为2010年12月9日、发明名称为压电装置的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种被用于各种电子设备的压电振子、压电振荡器等的压电装置，特别是涉及一种对收纳有压电振动片的外壳以气密状态进行封装的表面安装型的压电装置。

背景技术

一直以来，压电装置多数使用适合向电路基板等安装的表面安装型的压电装置。通常，表面安装型的压电装置采用一种外壳结构，即，由陶瓷等绝缘材料构成的薄箱型的基座以及与该基座相接合的平板状的盖体形成，并在内部安装压电振动片并以气密状态进行密封。而且，随着最近的电子设备的小型化、轻薄化，要求压电装置更加小型化和轻薄化。

为了使压电装置小型化，已知一种音叉型的压电振动片，具有：一对振动臂，其从基端部起平行地延伸；支承臂，其从该基端部起以与振动臂平行的方式延伸且设有来自激励电极的引出电极（例如，参照专利文献1）。另外，已知一种结构，即，具有矩形薄板状的振动部的厚度切变振动模式的压电振动片，也同样具备一种支承臂，该支承臂从振动部的基端起以与该振动部平行的方式延伸且设置有来自激励电极的引出电极（例如，参照专利文献2）。

这些压电振动片通过在支承臂处用导电性粘合剂固定在外壳的贴装电极上，从而在电连接的同时被机械性地固定并支承。因此，与在基端部处利用导电性粘合剂以悬臂的方式固定并支承压电振动片的现有结构相比，由于基端部的尺寸在长度方向上缩小，因此能够使压电振动片以及压电装置相应地小型化。

为了均衡地固定压电振动片，通常，压电振动片的支承臂在振动臂或者振动部的两侧各设置有一个。而且，也可以在振动臂或者振动部的一侧仅设置一个支承臂，并在该支承臂和基端部处固定于外壳（例如，参照专利文献3）。

而且，音叉型的压电振动片通过在振动臂的前端形成扩大其宽度的锤部，从而能够缩短振动臂而使振动片整体在长度方向上小型化（例如，参照专利文献4）。通过该宽度加宽的锤部，能够抑制高阶振动模式的发生，从而获得振动频率的稳定性。

而且，在表面安装型的压电装置中使用下述外壳结构，即，为了排出在盖体与基座相接合时由密封材料产生的气体或水分，并且/或者将内部密封为所需真空状态或者环境，而预先设置与外部连通的密封孔，并在盖体与基座相接合之后对密封孔进行封闭。大多数情况下，外壳的密封孔被设置在由陶瓷材料的薄板进行层叠而成的基座上（例如，参照专利文献2、3、5），但也能够设置在平板状的盖体上（例如，参照专利文献6）。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2004－297198号公报

专利文献2：日本特开2009－21794号公报

专利文献3：日本特开2004－343541号公报

专利文献4：日本特开2005－5896号公报

专利文献5：日本特开2006－332727号公报

专利文献6：日本特开2002－171152号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在封闭外壳的密封孔时，通过对放置在其内部的、由低熔点金属构成的球状或颗粒状的密封材料照射激光束或者卤素灯等，以使所述密封材料在瞬间被加热而熔化，从而进行封闭。此时，优选为，使密封孔内侧的开口直径小于外侧的开口直径，以防止密封材料落入外壳内。当基座由陶瓷薄板的层叠结构构成时，通过将构成其底板的陶瓷薄板上的大直径孔以及层叠于所述底板上的陶瓷薄板上的小直径孔配置成同心，从而使此种密封孔形成为阶梯状的两层结构。另外，在由金属平板构成的盖体上，能够通过使用冲头等的工具形成朝向下方的凸部并在其中心开设贯穿孔，从而形成密封孔。

上述现有技术中的密封孔无论设置在外壳的基座或者盖体中的哪一方，在俯视这些密封孔时，均以与压电振动片重合的方式被配置，以使外壳的平面尺寸小型化。特别是，在将密封孔设置在与压电振动片的激励电极重合的位置上的情况下，在将盖体接合到基座上之后，通过从外部经由密封孔照射激光等而去除部分激励电极，从而能够对压电振动片的振动频率进行微调节。

但是，如上所述，这种将密封孔设置在基座上且以与压电振动片重合的方式配置所述密封孔的外壳，需要将基座的底板部分制成至少两层的层叠结构。而且，必须在密封孔的内侧开口与压电振动片之间设置间隙。由此，难以使外壳进一步轻薄化以及扁平化。同样地，在将密封孔设置在盖体上的情况下，也必须在盖体内表面的凸部与压电振动片之间设置间隙，从而限制了外壳的轻薄化和扁平化。