[发明专利]平板显示器及其柔性基板和制作方法

权利要求书

1.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一支撑板；

在所述支撑板的一侧涂布第一柔性层；

在所述第一柔性层与所述支撑板相异的一侧上形成阻挡层，所述阻挡层由多层堆叠沉积的有机薄膜和无机薄膜交替组成；以及

在所述阻挡层与所述第一柔性层相异的一侧上涂布第二柔性层，所述第二柔性层与所述第一柔性层包覆所述阻挡层，

其中，所述第一柔性层与所述支撑板通过机械力离型，所述阻挡层的应力参数为5至200兆帕。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述支撑板为玻璃支撑板。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一柔性层与第二柔性层是相同的高透光可耐高温的材料。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述高透光可耐高温材料是如下材料中的一种：

聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)；

聚异戊二烯(PI)；

聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)；

聚苯醚砜(PES)；或者

聚碳酸酯(PC)。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述无机薄膜是由以下材料中的一种制成：

氮化硅；

氧化硅；

氮氧化硅；或者

氧化铝，

所述有机薄膜是由以下材料中的一种制成：

四乙氧基硅；

六甲基二硅氧烷；

六甲基二硅氮烷；

八甲基环四硅氧烷；

碳氧化硅；或者

碳氮化硅。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制作方法，其特征在于，所述柔性基板用于有机发光显示器。

7.根据权利要求1-5任一项所述的制作方法，其特征在于，所述第一柔性层的厚度为10至100微米，所述第二柔性层的厚度为10至100微米。

8.一种柔性基板，其特征在于，包括：

支撑板；

第一柔性层，涂布在所述支撑板一侧，所述第一柔性层与所述支撑板通过机械力离型；

多层堆叠沉积的有机薄膜和无机薄膜交替组成的阻挡层，形成于所述第一柔性层与所述支撑板相异的一侧，所述阻挡层的应力参数为5至200兆帕；以及

第二柔性层，涂布在所述阻挡层与所述第一柔性层相异的一侧，并与第一柔性层形成包覆所述阻挡层的结构。

9.根据权利要求8所述的柔性基板，其特征在于，所述支撑板为玻璃支撑板。

10.根据权利要求8所述的柔性基板，其特征在于，所述第一柔性层与第二柔性层是相同的高透光可耐高温的材料。

11.根据权利要求10所述的柔性基板，其特征在于，所述高透光可耐高温材料是如下材料中的一种：

聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)；

聚异戊二烯(PI)；

聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)；

聚苯醚砜(PES)；或者

聚碳酸酯(PC)。

12.根据权利要求8所述的柔性基板，其特征在于，

所述无机薄膜是由以下材料中的一种制成：

氮化硅；

氧化硅；

氮氧化硅；或者

氧化铝，

所述有机薄膜是由以下材料中的一种制成：

四乙氧基硅；

六甲基二硅氧烷；

六甲基二硅氮烷；

八甲基环四硅氧烷；

碳氧化硅；或者

碳氮化硅。

13.根据权利要求8-12任一项所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板用于有机发光显示器。

14.根据权利要求8-12任一项所述的柔性基板，其特征在于，所述第一柔性层的厚度为10至100微米，所述第二柔性层的厚度为10至100微米。