[发明专利]一种碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法有效
申请号: | 201310351320.7 | 申请日: | 2013-08-13 |
公开(公告)号: | CN104241439B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 张征宇;武卫兵;李伟中 | 申请(专利权)人: | 北京恒基伟业投资发展有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 张建纲 |
地址: | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碲化镉 薄膜 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,包括在透明基板垂直方向上依次制备TCO层、CdS层、CdTe层、富Te层,其特征在于,所述富Te层制备方法包括如下步骤:
S1、在CdCl2存在条件下,将表面制备有CdTe层的碲化镉薄膜太阳能电池半成品进行高温退火热处理;
S2、将步骤S1制得的碲化镉薄膜太阳能电池半成品置于包括阳极、阴极以及参比电极的三电极体系电沉积装置内,将TCO层连接阴极,对电极连接阳极,电沉积液中碲前驱物含量为0.1~0.3mmol/L,镉盐含量为0.2~0.5mol/L,将所述电沉积液加热到80~90℃或在CdTe层上制备所述富Te层的沉积面上垂直引入可见光,采用阴极电位渐变脉冲沉积或连续扫描电位沉积进行富Te层的沉积。
2.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述电位渐变脉冲沉积的脉冲电位的渐变范围为-0.86V~-0.2V,每次脉冲沉积时间为1~10s,每个脉冲周期的电位降为0.08mV~0.7mV,脉冲个数为120~1000个。
3.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述连续扫描电位沉积的电位扫描范围为-0.86V~-0.2V,扫描速率为0.2~0.56mV/S。
4.根据权利要求1-3任一项所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述可见光的光源为具有1000w/m2辐照度的氙灯。
5.根据权利要求4所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述碲前驱物为二氧化碲和/或亚碲酸盐。
6.根据权利要求5所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述镉盐为硫酸镉、醋酸镉、硝酸镉、氯化镉中的一种或多种的组合。
7.根据权利要求6所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述电沉积液为酸性溶液或碱性溶液。
8.根据权利要求7所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述碱性溶液中还包括氮三乙酸。
9.根据权利要求8所述的碲化镉薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于,步骤S1中高温退火的温度为370~400℃,时间为5~30分钟。
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