[发明专利]一种太赫兹气体传感器无效
| 申请号： | 201310351753.2 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN103398958A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陈麟;朱亦鸣;高春梅;徐嘉明 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 气体 传感器 | ||
1.一种太赫兹气体传感器，其特征在于：包括一个第一金属板和一个第二金属板，所述的第一金属板和所述的第二金属板平行设置，所述的第一金属板和所述的第二金属板之间设置有缝隙，在所述的第一金属板的中心设置有一个第一凹槽，所述的第一凹槽沿着所述的第一金属板的长度方向设置，在所述的第二金属板的中心设置有一个第二凹槽，所述的第二凹槽沿着所述的第二金属板的长度方向设置，所述的第一凹槽和所述的第二凹槽相对设置，所述的第一金属板和所述的第二金属板设置在一个箱体中，所述的第一金属板、所述的第二金属板和所述的箱体紧密连接，与所述的第一凹槽和第二凹槽相邻的所述的箱体的两个密封板中分别设置有一个孔，所述的孔和所述的缝隙相连通。
2.如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的第一金属板和第二金属板的材质为铝、铜、银、铁、镍中的任意一种。
3. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的箱体的密封板的材料为聚乙烯、聚丙烯和聚四氟乙烯等太赫兹透光材料。
4. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的第一金属板和第二金属板的形状、体积相同。
5. 如权利要求4所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的第一金属板和第二金属板的长分别为20～200mm，宽为4～10mm，高为3～10mm，所述的第一金属板和第二金属板的凹槽与金属板同长，宽为400～1000μm，深为400～1000μm。
6. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述第一金属板和所述的第二金属板间距为0.5～1mm，所述第一金属板和所述的第二金属板的缝隙、第一凹槽和第二凹槽内的媒质为空气或者待检测气体。
7. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的孔正对所述的凹槽。
8. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的第一金属板和第二金属板均为立方体状。
9. 如权利要求1所述的一种太赫兹气体传感器，其特征在于：所述的箱体为方形。
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