[发明专利]阀部件和流体控制阀

说明书

本发明提供阀部件和流体控制阀，能够提高流体控制阀封闭时的密封性，并且能够长时间保持耐久性并提高稳定性，该阀部件构成阀座面（4a）或接合面（6a）的一方，其包括：凹部（61），形成在与阀座面（4a）相对的对置面上；以及树脂涂层（62），形成在凹部（61）内，与阀座面（4a）接触。

技术领域

本发明涉及一种流体控制阀，该流体控制阀用于控制例如气体流量的质量流量控制器等，特别是涉及用于该流体控制阀的阀体或阀座。

背景技术

作为例如控制用于半导体工艺的气体流量的质量流量控制器，公知一种如专利文献1所示的结构。

内置于上述质量流量控制器内的流体控制阀包括：阀座，形成有与上游流道连通的阀口；膜片阀体，与该阀座接合来关闭阀口；以及致动部件，驱动该膜片阀体。并且，为了防止流体的内部漏出并提高密封性，对膜片阀体的与阀座相对的整个下表面涂布树脂涂层。

在此，由于如果在利用树脂涂层形成的薄膜表面具有凹凸，则不能确保密封性，所以要求薄膜表面具有高精度的平面度。因此，需要利用平面研磨等对薄膜的表面进行研磨。

但是，由于利用树脂涂层形成的薄膜的膜厚较薄且硬度较低，所以利用平面研磨形成的研磨面容易倾斜，存在薄膜剥落、或因单侧磨损导致膜厚不均匀的问题。因此，即使进行了平面研磨等研磨处理，不仅不能充分确保密封性，而且也难以长期保持耐久性。

专利文献1：日本专利公开公报特开2000-322129号。

发明内容

为了彻底解决上述问题点，本发明主要的预期课题在于能够提高树脂涂层表面的平面度并使树脂涂层的膜厚均匀化，由此，提高流体控制阀封闭时的密封性，并且长时间保持耐久性并提高稳定性。

即，本发明提供一种阀部件，构成阀座面或与所述阀座面接合的接合面中的一方，所述阀部件的特征在于具有：凹部，形成在与所述阀座面或所述接合面中的另一方相对的对置面上；以及树脂涂层膜，形成在所述凹部内，与所述阀座面或所述接合面中的另一方接触，所述对置面的所述凹部的外周部是对所述树脂涂层膜进行表面研磨时的研磨限制导向部，在所述对置面中，所述凹部的外周部的表面与所述树脂涂层膜的表面为同一平面。

按照这种阀部件，由于在阀部件的对置面上形成有凹部，并且在该凹部内形成有树脂涂层膜，所以通过使该树脂涂层膜与所述阀座面或所述接合面中的另一方接触，可以提高封闭时的密封性。

此外，由于在凹部内形成有树脂涂层膜，所以当对该树脂涂层膜的表面进行研磨时，该凹部以外的对置面部分为表面研磨的导向件，从而可以提高树脂涂层膜的平面度，并且可以使该树脂涂层膜的膜厚均匀。

此外，由于相对于具有对置面的阀部件主体，树脂涂层膜的膜厚小，所以可以使树脂涂层膜的热膨胀量相对于阀部件主体的热膨胀量变小，从而可以使因形成树脂涂层膜而产生的温度影响变小。

并且，由于利用树脂涂层膜确保了密封性，所以可以在所述阀座面或所述接合面中的另一方与该树脂涂层膜接触时，使树脂涂层膜的弹性变形量变小，树脂涂层膜不易改变形状，从而可以长时间确保密封性。

如上所述，可以提高流体控制阀封闭时的密封性，并且可以长时间保持耐久性并提高稳定性。

优选的是，所述对置面的所述凹部的周边部在所述树脂涂层膜的表面研磨时为研磨限制导向部。