[发明专利]一种基于表面等离子体共振的金属薄膜表面色散调制方法在审
| 申请号： | 201310354818.9 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103424791A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 江素华;刘哲郡 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G02B5/02 | 分类号： | G02B5/02 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 等离子体 共振 金属 薄膜 色散 调制 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种基于表面等离子体共振的金属薄膜表面色散调制方法，其特征在于具体步骤如下：
（1）清洗衬底；
（2）采用磁控溅射法制备合金薄膜，将经清洗的衬底材料放入磁控溅射仪中，使用金银双靶共溅射，通过改变靶电流对合金薄膜组分质量配比进行调制，获得具有不同介电常数的合金薄膜，合金薄膜厚度为30~80nm；
（3）将制备出的合金薄膜与三棱镜组合，置于椭偏仪光路中，通过改变入射光波长及入射角测量薄膜的反射谱，观察到合金薄膜表面等离子体共振峰位被合金组分调制。
2. 根据权利要求1所述方法，其特征在于所述靶电流的变化范围是0-0.12A。
3. 根据权利要求1或2所述方法，其特征在于所述合金薄膜组分质量配比变化范围是：金：0-100%，银：100-0%。
4. 根据权利要求1或2所述方法，其特征在于所述透明衬底材料为石英或玻璃。
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