[发明专利]磁传感装置及该装置的制备工艺

权利要求书

1.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括垂直方向磁传感部件，该垂直方向磁传感部件包括：

-基底，其表面开有沟槽组，一组沟槽组包括若干平行设置的沟槽；

-导磁单元，含有磁材料层，导磁单元的部分设置于沟槽组的若干沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，设置于一个沟槽组中相邻沟槽的导磁单元相连接；所述导磁单元用以收集垂直方向的磁场信号，并将该磁场信号输出；

-感应单元，设置于对应沟槽组的一侧，与导磁单元之间有缝隙；所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，设置于所述基底表面上，含有磁材料层，用以接收所述导磁单元输出的垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度及磁场方向；所述垂直方向为基底表面的垂直方向；一组沟槽组一侧的感应单元与该组沟槽组对应的导磁单元配合；

所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁场强度，第一方向、第二方向相互垂直；保护材料层设置于感应单元的磁材料层以及导磁单元上，并将沟槽填满。

2.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：

基底，其表面开有沟槽组，一组沟槽组包括若干平行设置的沟槽；保护材料层设置于感应单元的磁材料层以及导磁单元上，并将沟槽填满；

导磁单元，导磁单元的部分设置于沟槽组的若干沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，设置于一个沟槽组中相邻沟槽的导磁单元相连接；所述导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；

感应单元，设置于对应沟槽组的一侧，与导磁单元之间有缝隙；所述感应单元测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直。

3.根据权利要求2所述的磁传感装置，其特征在于：

所述第三方向磁传感部件包括外围电路，用于计算磁场强度及磁场方向，并进行输出。

4.根据权利要求2所述的磁传感装置，其特征在于：

所述导磁单元的主体部分与基底表面的夹角为45°～90°；所述感应单元贴紧基底表面设置，与基底表面平行。

5.根据权利要求2所述的磁传感装置，其特征在于：

所述装置进一步包括第二磁传感部件，用以感应第一方向或/和第二方向的磁信号，并以此测量出第一方向或/和第二方向对应的磁场强度及磁场方向。

6.一种磁传感装置的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下步骤：

步骤1、设置基底；

步骤2、在基底的表面设置沟槽组；一组沟槽组包括若干平行设置的沟槽；

步骤3、在基底表面制备感应单元的磁材料层及导磁单元；所述导磁单元的部分设置于沟槽组的若干沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，设置于一个沟槽组中相邻沟槽的导磁单元相连接；所述导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；所述感应单元设置于对应沟槽组的一侧，与导磁单元之间有缝隙；所述感应单元测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；

步骤4、在感应单元上设置电极层。