[发明专利]自动化物料输送系统及其物料传输方法

说明书

技术领域

本发明涉及物料传输领域，具体涉及一种自动化物料输送系统及其物料传输方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力在各个制造模块之间来进行传输的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料输送系统（Automated Material Handling Systems，以下简称：AMHS）相对于人力化的物料传输来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间进行输送硅片的主要纽带。

图1为传统自动化物料传输系统的三维结构示意图。如图1所示，该自动化物料传输系统主要包括：存储单元101和升降机子系统102。其中，存储单元101设有至少一个输入口111、至少一个输出口121，存储单元101中放置有盒式容器103，在盒式容器103存放有物料（Work In Product，以下简称WIP）如硅片。升降机子系统102包括设置在存储单元（STOCKER）101外围的悬空轨道112，以及可在悬空轨道112上行驶的输送车122。每个输送车122还连接有一机械手132，通过该机械手132来拾取或者卸载盒式容器103，再控制输送车122沿着悬空轨道112行驶，从而使得硅片在制造区域的各个制造模块之间自动传输。比如拾取了一盒式容器103的输送车122在悬空轨道112上行驶，并停在可以把其拾取的盒式容器103卸载到其停靠位置处输入口111的位置，或者可以从输出口121拾取一盒式容器103的位置，并最终完成盒式容器103到存储单元101的卸载或者装入。当该输送车122完成卸载或者装入后，另一停靠在悬空轨道112输送车122再通过其停靠位置处输入口111或者输出口121卸载或者装入其他的盒式容器103。

卸载或者装入盒式容器103容器是通过与输送车122连接的机械手132完成的，为此，该机械手132通常需要设置3个或更多的运动轴线，从而将存储单元101中的物料WIP推送到输出口121或将输送车122中的WIP推送到输入口111。然而，3个或更多的运动轴线使得机械手132的运动过程较为复杂，增加了从存储单元101拾取即装入或者卸载盒式容器103的最小时间量，从而导致传输效率较低。

并且，存储单元STOCKER101的输入口111和输出口121在同一水平高度，在悬空轨道上每次只能允许有一个输送车122进行卸载或者装入，这样就造成装入和卸载过程中的滞时，即使有多个输送车122，也不能同时进行卸载或装入，大大影响了搬送效率的提高。

发明内容

为了克服上述问题，本发明旨在提供一种自动化物料传输系统及其物料传输方法，从而提高搬送效率。

本发明提供一种自动化物料传输系统，包括具有多层输入口和多层输出口的储物架，以及悬挂有输送车的悬空轨道，其中，所述悬空轨道包括：

一个主轨道，位于所述悬空轨道的顶部；

至少一层分轨道，位于所述主轨道的下方，且所述分轨道位于所述多层输入口和/或所述多层输出口的上方；所述每层分轨道形成所述主轨道的分支；其中，

所述每层分轨道两端与所述主轨道相连通，从而使所述输送车在所述主轨道和所述每层分轨道之间移动并到达相对应的所述输入口或所述输出口的上方。

优选地，所述每层分轨道位于相应的所述每层输入口和/或所述每层输出口的上方。

优选地，所述自动化物料传输系统还包括控制模块，用于控制所述主轨道的输送车和所述分轨道上的输送车的移动速度和移动方向。

优选地，所述主轨道包括固定装置，用于将每层分轨道与所述主轨道相连接。

优选地，所述多层输入口和所述多层输出口从上到下分层排布，且每层排布有一个所述输入口和/或一个所述输出口。

优选地，所述每层分轨道均位于所述主轨道的正下方，且所述每层分轨道的底部和所述主轨道相互平行排布，所述每层分轨道的两端向上延伸并与所述主轨道连接。

优选地，所述每层分轨道与所述主轨道的两个交接处，位于与之相邻的上一层分轨道与所述主轨道的两个交接处的外侧。

优选地，所述每层分轨道上且与所述主轨道的交接处的轨迹为圆弧状。

本发明还提供一种采用上述任意一项所述的自动化物料传输系统进行物料传输的方法，其中，包括：

步骤S01：第一辆输送车沿着主轨道并到达上层输入口或上层输出口的上方，同时，其它每辆输送车沿着所述主轨道分别进入相应的每层分轨道中；