[发明专利]一种高效多晶硅锭铸锭炉无效
| 申请号： | 201310357941.6 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103397379A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 林洪峰;冯媛;李书森;刘兴翀;兰洵;龙巍;赵秀生 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 多晶 铸锭 | ||
1.一种高效多晶硅锭铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）内的隔热笼体（2）、设置在隔热笼体（2）内的石英坩埚（4），其特征在于：石英坩埚（4）底面贴附有底板（6），底板（6）主要由至少2种不同导热系数的板体构成，导热系数小的板体嵌套在导热系数大的板体内部。
2.根据权利要求1所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：底板（6）主要由3种不同导热系数的板体构成，分别为：板体A、板体B、板体C，板体A的导热系数＜板体B的导热系数＜板体C导热系数，板体A嵌套在板体B内，板体B嵌套在板体C内。
3.根据权利要求1所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：导热系数最小的板体中心点与石英坩埚（4）底面中心点对齐。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：还包括设置在石英坩埚（4）四周面至隔热笼体（2）区间的侧面加热器（10）。
5.根据权利要求4所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：侧面加热器（10）的电阻自上而下逐步减小。
6.根据权利要求4所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：侧面加热器（10）的电阻宽度在石英坩埚（4）顶部指向底板方向上，从上至下宽度逐渐增大。
7.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：石英坩埚（4）四周面贴附有护板（3）。
8.根据权利要求7所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：护板（3）靠近底板（6）一端通过绝热材料板与底板（6）连接。
9.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：底板（6）远离石英坩埚的一端连接有矩形的DS散热块（7）。
10.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种高效多晶硅锭铸锭炉，其特征在于：石英坩埚（4）正上方设置有顶部加热器（8）。
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