[发明专利]一种微透镜、微透镜阵列结构及其制作工艺

权利要求书

1.一种亚像素微透镜液体透镜阵列结构，其特征在于：每个视场在单个微透镜中只取一个亚像素，相邻的三个微透镜构成一个视场的红绿蓝三色亚像素。

2.根据权利要求1所述的一种亚像素微透镜液体透镜阵列结构，其特征在于：纵向方向上每个微透镜内部的红绿蓝三色亚像素分别与相邻微透镜内部的红绿蓝三色亚像素对齐；横向方向上每个微透镜内部的亚像素与相邻微透镜内部的亚像素对齐，且每行亚像素中红绿蓝三色亚像素交替排列。

3.根据权利要求1所述的一种亚像素微透镜液体透镜阵列结构，其特征在于：所述红绿蓝三色亚像素在微透镜中偏移量相等。

4.根据权利要求1所述的一种亚像素微透镜液体透镜阵列结构，其特征在于：所述红绿蓝三色亚像素在微透镜中偏移角度相等。

5.一种权利要求1所述亚像素微透镜液体透镜阵列结构中的微透镜，其特征在于：该微透镜为矩形，包括底层基板（1），所述底层基板（1）上筑有一个腔体结构（2），所述腔体结构（2）中设有凝固液体（3）；所述腔体结构（2）侧壁的上表面设有疏水区域（4）。

6.一种权利要求1所述亚像素微透镜液体透镜阵列结构的制作工艺流程，其特征在于包括如下步骤：

（1）压膜，采用1.5mm厚度的光学玻璃作为玻璃基板，清洁玻璃基板并将其裁成所需的尺寸规格，然后在玻璃基板上用压膜机压上20微米蓝膜；

（2）掩模刻蚀，在压膜后的玻璃基板上放置形状定制的胶片，并将玻璃和胶片进行紫外曝光；然后将曝光后的玻璃基板放入显影机中进行显影，显影液将固化好的地方保留，未经光照固化的洗掉形成腔体结构；最后烘干；

（3）涂疏水层，在掩模刻蚀后仍旧固化的蓝膜上涂上一层特氟龙溶液作为疏水层；

（4）涂胶，在掩模刻蚀后未固化形成腔体结构中涂上NOA73溶液；

（5）紫外固化，采用紫外光固化，使液体透镜转变成固体聚合物透镜。