[发明专利]用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置

权利要求书

1.一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，其特征在于由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与系统的光轴垂直，四个刀口中间形成的开口即为扫描狭缝。

2.根据权利要求1所述的扫描狭缝装置，其特征在于所说的刀片组件自上而下依次由刀片部件（Za）、运动机构（Zb）和微调机构（Zc）组成，所述的刀片部件（Za）包括刀片（13）和刀架（12），所述的运动机构（Zb）由主基板（7）、次基板（10）、直线电机动子（9）、直线电机定子（8）、上导轨（11）、下导轨（15）、光栅尺（14），读数头支架（16）和读数头（17）构成，所述的微调机构（Zc)由微调块（6）、带有压缩弹簧的螺钉（601）和顶丝（602）构成，上述元部件的位置连接关系如下：

所述的主基板（7）、下导轨（15）和读数头支架（16）相连接，所述的直线电机动子（9）和直线电机定子（8）构成一体，所述的次基板（10）和光栅尺（14）相连接；所述的主基板（7）固定在所述的微调块（6）的安装面上，直线电机定子（8）固定在主基板（7）的上表面，直线电机定子（8）与下导轨（15）之间的互相平行；所述直线电机动子（9）与次基板（10）相连，且直线电机动子（9）与光栅尺（14）之间互相平行；次基板（10）安装在下导轨（16）的上表面，光栅尺（14）与下导轨（16）之间互相平行，直线电机定子（8）的驱动方向、光栅尺（14）的测量方向和下导轨（15）的导向同方向，上导轨（11）安装到次基板（10）上，上导轨（11）与下导轨（15）相互垂直；所述的刀架（12）与上导轨（11）的上表面相连，刀片（13）安装在刀架（12）上，所述的刀片（13）具有相邻且相互垂直的刀口（d₁）和刀片面（d₂），所述的刀片（13）的刀口（d₁）为线边缘，保证所述的刀口（d₁）与下导轨（15）的导向相同；刀片面（d₂）为相邻刀片间的配合面，采用斜面；所述的刀口（d₁）、刀架的侧边（d₃）和（d₄）与上导轨（10）三者平行。

3.根据强烈要求1或2所述的扫描狭缝装置，其特征在于所述的四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连的具体结构是：限位连接件一端固定在一个刀片组件的刀架上，另一端布置两个偏心轴承，分别位于相邻刀片组件的刀架的两侧，通过两个轴承间的预紧力对相邻刀架进行夹紧，四个独立的刀片组件形成一个结构耦合整体，四个刀片组件中相对的两个刀片组件的刀口扫描方向相同，同时相邻的两刀片在一个方向上相连，另一个方向上相对运动。