[发明专利]一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列

权利要求书

1.一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列，其特征在于：包括两个四梁臂硅微结构（1）、两个微型柱状体（2）、两个中心连接体（3）、以及检测电路；

两个四梁臂硅微结构（1）和两个中心连接体（3）均位于同一平面；

两个微型柱状体（2）的上端各自垂直固定于两个中心连接体（3）的下表面中央；

检测电路包括由第一-第四应变压敏电阻（R1-R4）连接构成的第一惠斯通电桥、由第五-第八应变压敏电阻（R5-R8）连接构成的第二惠斯通电桥、由第九-第十二应变压敏电阻（R9-R12）连接构成的第三惠斯通电桥、由第十三-第十六应变压敏电阻（R13-R16）连接构成的第四惠斯通电桥；

第一惠斯通电桥铺设于其中一个四梁臂硅微结构（1）的其中两个梁臂上；第二惠斯通电桥铺设于其中一个四梁臂硅微结构（1）的另外两个梁臂上；第三惠斯通电桥铺设于另外一个四梁臂硅微结构（1）的其中两个梁臂上；第四惠斯通电桥铺设于另外一个四梁臂硅微结构（1）的另外两个梁臂上。

2.根据权利要求1所述的一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列，其特征在于：其中一个四梁臂硅微结构（1）为十字型四梁臂硅微结构，另一个四梁臂硅微结构（1）为X字型四梁臂硅微结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列，其特征在于：两个四梁臂硅微结构（1）的尺寸一致；两个微型柱状体（2）的尺寸一致；两个中心连接体（3）的尺寸一致；第一-第十六应变压敏电阻（R1-R16）的阻值均一致。