[发明专利]化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法

权利要求书

1.一种化学机械抛光装置用扣环结构物，其特征在于，包括：

金属材料的插入环，在上面形成有用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个孔；

树脂材料的插入销，包括销体和一个以上的长槽部，该插入销压入到上述插入环的孔并进行丝锥加工，其中，上述销体具有上面开放的中空部，上述一个以上的长槽部以沿长度方向的方式形成在上述销体的侧面；以及

外部环，包围上述插入销和上述插入环。

2.一种化学机械抛光装置用扣环结构物，其特征在于，包括：

金属材料的插入环，在上面形成有用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个孔，并在上述插入环的内侧形成有母螺纹；

树脂材料的插入销，包括具有上面开放的中空部的圆筒形的销体，并在上述销体的侧面形成有公螺纹，通过与上述插入环的孔进行螺纹结合来实现丝锥加工；以及

外部环，包围上述插入销和上述插入环。

3.一种化学机械抛光装置用扣环结构物的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

在金属材料的插入环的上面形成用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个孔的步骤；

将树脂材料的多个插入销与上述插入环的多个孔相结合的步骤，其中，上述树脂材料的多个插入销包括具有上面开放的中空部的销体和以沿长度方向的方式形成在上述销体的侧面的一个以上的长槽部；

注塑步骤，将与上述插入销相结合的上述插入环安装到模具，并将树脂材料注塑，来由树脂材料包围上述插入环而形成外部环；以及

对上述插入销进行丝锥加工的步骤。

4.根据权利要求3所述的化学机械抛光装置用扣环结构物的制造方法，其特征在于，上述插入销包括：

突出部，在上述注塑步骤中，安装于上述模具，注塑后被切割加工；以及

销体部，与上述销体的一端部相连接，注塑后被丝锥加工。

5.一种化学机械抛光装置用扣环结构物的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

在金属材料的插入环的上面形成用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个孔，并且在上述插入环的内侧形成母螺纹的步骤；

将树脂材料的多个插入销与上述插入环的多个孔进行螺纹结合的步骤，其中，上述插入销包括具有上面开放的中空部的圆筒形的销体，在上述销体的侧面形成有公螺纹；

将与上述插入销相结合的上述插入环安装到模具，并将树脂材料注塑，来由树脂材料包围上述插入环而形成外部环的步骤；以及

对上述插入销进行丝锥加工的步骤。