[发明专利]掩模板清洗器

说明书

技术领域

本发明涉及清洗设备技术领域，特别涉及一种掩模板清洗器。

背景技术

掩模板(Mask)是制造OLED显示屏的重要部件，在生产OLED显示屏时，先将掩模板覆盖于一玻璃基板上，再利用真空蒸镀工艺将汽态的有机发光材料通过掩模板上所开设的蒸镀孔镀覆于玻璃基板上，形成显示模组，因此，掩模板也称为蒸镀板。掩模板，特别是细小网格的掩模板(Fine Mask)，在蒸镀完成后，表面和网格内都会残留有机发光材料等杂质，影响掩模板的继续使用，这些杂质在将掩模板再次投入使用前必须清除。

由于掩模板特别是Fine Mask对精度要求非常苛刻，例如，一般要求掩模板的网格大小误差在3μm内，因此，目前传统的清洗设备无法用于对FineMask或掩模板进行有效清洗，导致掩模板的使用成本大大增加，而且容易因清洗效果不佳而严重影响所生产出的OLED显示屏的质量，甚至会产生大量不良品，直接或间接地提高了OLED显示屏的生产成本。

发明内容

本发明的主要目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种掩模板清洗器，以有效清洗掩模板表面和网格中的有机发光材料等杂质，并且不会对掩模板造成任何伤害，也不会对掩模板的精度产生不利影响，从而在用于制造OLED显示屏产品时，显著提高产品的良品率。

为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案。

本发明提供的掩模板清洗器，包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，所述料台适于装载掩模板，所述清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，所述清洗槽设置有用于冷却所述清洗液的冷却管，所述掩模板浸泡于所述清洗液中；所述漂洗槽内盛装有漂洗液，所述掩模板清洗后，浸渍于所述漂洗液中漂洗；所述干燥装置包括干燥室和鼓风机，所述鼓风机通过管道向所述干燥室内通入无尘空气，将漂洗后的掩模板风干。

优选地，还包括机械手，所述机械手设置于一支架上，将所述掩模板在所述料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置之间进行转运。

优选地，所述掩模板容置于一洗篮内，所述机械手适于通过所述洗篮对所述掩模板进行转运。

优选地，还包括循环泵和储液箱，所述储液箱通过所述循环泵与所述清洗槽连接。

优选地，还包括电控箱，所述电控箱与所述鼓风机和循环泵连接，控制所述鼓风机和循环泵启动或停止。

优选地，所述漂洗槽为两个，该两个漂洗槽相连通，并且设置有回流电机，使所述漂洗液在两个漂洗槽内循环流动。

优选地，还包括封闭外罩，所述料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置设置于所述封闭外罩内。

本发明具有以下有益效果：

由于清洗有机发光材料需要用到一种易挥发的清洗液，若直接将清洗液放置于清洗槽中，再将掩模板放入清洗槽内清洗，不仅使清洗液极易挥发，造成清洗液的浪费，因此，本发明可以有效减少清洗液的损耗，从而降低清洗成本。而且，在清洗的过程中，本发明采用机械手对掩模板进行转运，可实现清洗过程的连续化和自动化控制，提高了清洗效率，并进一步降低了清洗成本。

附图说明

图1是本发明实施例中掩模板清洗器的结构示意图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

以下将结合附图及具体实施例详细说明本发明的技术方案，以便更清楚、直观地理解本发明的发明实质。

参照图1所示，本实施例提供一种掩模板清洗器100，包括依次设置的料台1、清洗槽2、漂洗槽3和干燥装置4，料台1用于装载待清洗的掩模板200，清洗槽2用于对掩模板200进行清洗，其内盛装有易挥发性的清洗液，并且该清洗槽2设置有用于冷却清洗液的冷却管21，以降低清洗液的温度，减缓清洗液的挥发速度。掩模板200浸泡于清洗液中，通过清洗液对掩模板200表面或网格中的发机发光材料等杂质进行清除。漂洗槽3内盛装有漂洗液，掩模板200清洗完成后，浸渍在漂洗液中漂洗，以去除清洗液。一般地，该漂洗液可采用蒸馏水或纯水。上述干燥装置4用于对漂洗后的掩模板200进行风干处理，包括干燥室41和鼓风机42，鼓风机41通过管道向干燥室41内通入无尘空气，以将漂洗后的掩模板200风干，风干后，掩模板200即可用于下一道工序。

本实施例的掩模板清洗器100还包括机械手5，该机械手5设置于一支架6上，并可在支架6上滑动，从而将掩模板200在料台1、清洗槽2、漂洗槽3和干燥装置4之间进行转运，实现连续性、自动化操作。