[发明专利]活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统

权利要求书

1.一种用于真空处理系统的活动阀门，设于真空处理腔室与真空传输室的连接通道中并与其密合，用于隔离所述真空处理腔室与真空传输室，所述真空处理腔室中设有一晶圆箱，用于放置晶圆，所述真空传输室中设有一机械臂，用于通过所述连接通道传输晶圆，所述活动阀门包括：

一常闭门体，设于所述连接通道中并与其密合，所述门体至少包括一受磁部件，所述受磁部件设置于所述门体一活动端部；

一电磁转换单元，固接于所述连接通道上远离所述受磁部件的一面，其通电后产生磁吸力作用于所述受磁部件而带动所述门体打开。

2.如权利要求1所述的活动阀门，其特征在于，所述门体还包括一垂直门体与一水平门体，所述水平门体固接于所述垂直门体上临近于所述连接通道顶面的一端；所述受磁部件固设于所述水平门体上远离所述垂直门体的端部，所述电磁转换单元固接于所述连接通道底面，并与所述受磁部件上下正对；所述活动阀门还包括一弹性部件，其一端固接于所述水平门体底面，另一端固接于所述连接通道底面；

其中，所述电磁转换单元通电时产生磁吸力作用于所述受磁部件，所述受磁部件带动所述门体向下运动并施压于所述弹性部件，以打开所述门体；所述电磁转换单元断电时，所述弹性部件以弹力带动所述门体向上运动，以使所述门体与所述连接通道密合。

3.如权利要求1所述的活动阀门，其特征在于，所述门体还包括一枢轴，所述枢轴固接于所述连接通道底面；所述受磁部件固设于所述门体上靠近所述连接通道顶面的活动端部，所述电磁转换单元固接于所述连接通道底面，并与所述枢轴以一大体等于所述门体高度的间距分离设置；所述活动阀门还包括一弹性铰链，其一端固接于所述门体上朝向所述电磁转换单元的一面，其另一端固接于所述连接通道底面；

其中，所述电磁转换单元通电时产生磁吸力作用于所述受磁部件，所述受磁部件带动所述门体绕所述枢轴转动并施压于所述弹性铰链，以打开所述门体；所述电磁转换单元断电时，所述弹性铰链以弹力带动所述门体绕所述枢轴逆向转动，以使所述门体与所述连接通道密合。

4.如权利要求2或3所述的活动阀门，其特征在于，所述电磁转换单元通过一开关与一外部电压源连接，所述开关闭合时，所述电磁转换单元通电，所述开关打开时，所述电磁转换单元断电。

5.一种用于真空处理系统的活动屏蔽门，用于将一活动阀门屏蔽于晶圆处理区域之外，所述活动阀门设于真空处理腔室与真空传输室之间，所述真空处理腔室中从外到里间隔一定间隙依次设有一内罩和一晶圆箱，所述内罩在朝向所述真空传输室的一侧不封闭，所述真空传输室中设有一机械臂，用于通过所述活动阀门传输晶圆；其中，所述活动屏蔽门与活动阀门设于所述真空处理腔室与真空传输室的连接通道中并与所述连接通道密合，所述活动屏蔽门位于所述活动阀门与真空处理腔室之间，其包括：

一常闭门体，设于所述连接通道中并与其密合，所述门体至少包括一受磁部件，所述受磁部件设置于所述门体一活动端部；

一电磁转换单元，固接于所述连接通道上远离所述受磁部件的一面，其通电后产生磁吸力作用于所述受磁部件而带动所述门体打开。

6.如权利要求5所述的活动屏蔽门，其特征在于，所述门体还包括一垂直门体与一水平门体，所述水平门体固接于所述垂直门体上临近于所述连接通道顶面的一端；所述受磁部件固设于所述水平门体上远离所述垂直门体的端部，所述电磁转换单元固接于所述连接通道底面，并与所述受磁部件上下正对；所述活动阀门还包括一弹性部件，其一端固接于所述水平门体底面，另一端固接于所述连接通道底面；

其中，所述电磁转换单元通电时产生磁吸力作用于所述受磁部件，所述受磁部件带动所述门体向下运动并施压于所述弹性部件，以打开所述门体；所述电磁转换单元断电时，所述弹性部件以弹力带动所述门体向上运动，以使所述门体与所述连接通道密合。