[发明专利]用于低温检测H2的Pd掺杂SnO2纳米线气体传感器及制备方法

权利要求书

1.一种用于低温检测H₂的Pd掺杂SnO₂纳米线气体传感器，包括一个覆有叉指铂金电极的氧化硅基板和气敏感应层，其特征在于所述的气敏感应层是由Pd掺杂的SnO₂纳米线分散而成，其中Pd与SnO₂纳米线的质量比为1：（15～468）。

2.制备如权利要求1所述的用于低温检测H₂的Pd掺杂SnO₂纳米线气体传感器的方法，其特征在于按照以下步骤进行：

（1）制备SnO₂纳米线：

①将石英管放置在开启式管式电炉中，将直径为0.5～1mm、纯度为99.99％的金属Sn颗粒放置在氧化硅基板上，将氧化硅基板置于瓷舟中央，将瓷舟缓慢送入管式电炉内的石英管中央加热区；

②用法兰固定好石英管，然后进行抽真空，待真空度达到5Pa时，以200ml/min的流速向石英管中通入氩气，然后重复抽真空，通入氩气1次，调节氩气流速为20～100ml/min，随后升温管式电炉至800～1000℃并保持0.5～1.5h，关闭管式电炉，待管式电炉自然冷却至室温，从石英管中取出瓷舟，金属Sn颗粒周围的乳白色沉积物即为制备的SnO₂纳米线；

（2）制备掺杂Pd的SnO₂纳米线：

①将SnO₂纳米线分散到乙醇溶液中，其中SnO₂纳米线与乙醇溶液的质量比为1：9，随后在超声振荡器中分散30min，配置成SnO₂纳米线的乙醇悬浊液，用注射器抽取悬浊液，将其分散到覆有叉指铂金电极的氧化硅基板上形成SnO₂纳米线感应层；

②将PdCl₂溶于10mL的乙醇溶液中，在室温下磁力搅拌2h，配制成浓度为0.5×10^?3～3.125×10^?3mol/L的PdCl₂乙醇溶液，用注射器抽取PdCl₂乙醇溶液40μL，将其分散到SnO₂纳米线感应层上；

（3）制备Pd掺杂SnO₂纳米线气体传感器：

将上述分散有SnO₂纳米线和PdCl₂的氧化硅基板在空气中于300～400℃的温度下热处理1h，最终获得用于低温检测H₂的Pd掺杂SnO₂纳米线气体传感器。