[发明专利]一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法

权利要求书

1.一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，该方法为：

1）将MOCVD工艺数据及对所述MOCVD工艺数据的工艺操作以字符串格式存储在原始数据库中；

2）统计所述原始数据库中各MOCVD操作事件出现的次数，保留出现次数不小于最小支持度S的MOCVD操作事件，并记为1维元素，利用所述1维元素生成1维元素集L₁；其中，最小支持度S取值范围为2～6；

3）将1维元素集L₁中的1维元素两两合并，生成2维候选项目集C₂；

4）计算2维候选项目集C₂中的2维元素在原始数据库中的支持度，即统计C₂中组成每个2维元素的1维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数，删除2维候选项目集C₂中支持度小于最小支持度的2维元素，并将2维候选项目集C₂中支持度不小于最小支持度的2维元素记录在2维元素项目集L₂中；

5）统计2维元素项目集L₂中1维元素的频度，即统计2维元素项目集L₂中所有1维元素出现的次数，并删除L₂中包含有出现次数小于2的1维元素的2维元素，并用剩余的2维元素组成新的2维元素项目集L₂₁；

6）利用新的2维元素项目集L₂₁，根据步骤3）～步骤5）类推，直到生成k维候选项目集C_k，并且利用C_k不能再生成下一维项目集；

7）计算C_k的支持度S(C_k)，即计算C_k中组成每个k维元素的1维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数；设C_a为C_k的子集，设C_a中的元素为m维元素，计算C_a的支持度S(C_a)，S(C_a)的支持度即C_k中组成每个m维元素的1维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数；其中，m＜k；

8）如果S(C_k)/S(C_a)≥最小置信度C，那么就存在如下规则C_a—>Cs(a)，其中Cs(a)为C_a在C_k中的补集，C_a—>Cs(a)表示“由于执行了C_a中元素的操作，可能发生Cs(a)中元素的操作”，最小置信度C的取值范围为0.4～1。

2.根据权利要求1所述的用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，所述步骤1）中，原始数据库为日志记录表，所述日记记录表中包括若干条操作记录，每条操作记录均包括登记编号和操作事件。

3.根据权利要求1所述的用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，所述步骤2）中，最小支持度S取值为3或4。

4.根据权利要求1所述的用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，所述步骤8）中，最小置信度C取值为0.6或0.7。

5.根据权利要求1所述的用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，所述MOCVD工艺数据包括H₂、N₂、NH₃、SiH₄、MO源的流量，反应室压力，H₂、N₂、NH₃、MO源压力，以及石墨盘的温度和转速；其中所述MO源为三甲基铝、三甲基镓、三乙基镓、二茂镁、三甲基铟中的一种或多种；所述工艺操作是指对所述MOCVD工艺数据进行设置、更改操作。