[发明专利]选择性线性蒸发设备

权利要求书

1.一种选择性线性蒸发设备，包括：

多个线性蒸发器，所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且所述多个线性蒸发器沿着所述基片的传输方向间隔开；

角度限制板，所述角度限制板朝向所述线性蒸发器的上侧以预定高度安装在所述线性蒸发器的相对侧处，并且限制从所述线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度；

遮挡构件，所述遮挡构件安装在所述线性蒸发器的上方并位于所述角度限制板之间，并且所述遮挡构件包括使所述线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使所述线性蒸发器从外侧关闭的关闭部；以及

驱动器，所述驱动器驱动所述遮挡构件，以在所述原材料从所述线性蒸发器蒸发时将所述打开部定位在所述线性蒸发器的上方，并在所述原材料未从所述线性蒸发器蒸发时将所述关闭部定位在所述线性蒸发器的上方。

2.根据权利要求1所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述遮挡构件的所述打开部与所述关闭部成排地连接并且沿着横向于所述基片的所述传输方向的方向设置。

3.根据权利要求2所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述驱动器包括第一滑轮、第一马达、第二滑轮以及第二马达，其中，所述第一滑轮安装在所述线性蒸发器的一侧处并且所述打开部的一端缠绕在所述第一滑轮上；所述第一马达使所述第一滑轮旋转；所述第二滑轮安装在所述线性蒸发器的另一侧处并且所述关闭部的一端缠绕在所述第二滑轮上；所述第二马达使所述第二滑轮旋转；以及

所述打开部或所述关闭部通过所述第一马达与所述第二马达之间的一者的旋转而选择性地定位在所述线性蒸发器的上方。

4.根据权利要求1所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述关闭部通过将在横向于所述基片的所述传输方向的方向上具有一定宽度的多个板进行连接而形成。