[发明专利]靶材的形成方法在审
| 申请号： | 201310371290.6 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN104419899A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张亚光 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 方法 | ||
1.一种靶材的形成方法，其特征在于，包括：
提供具有第一厚度的第一靶材坯体；
对所述第一靶材坯体进行至少两次粗车，形成具有第二厚度的第二靶材坯体；
对所述第二靶材坯体进行精车，得到靶材。
2.如权利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，形成所述第二靶材坯体后，对所述第二靶材坯体进行精车前，还包括：对所述第二靶材坯体进行热处理，释放所述第二靶材坯体内的应力；或者，
得到靶材后，对所述靶材进行热处理，释放所述靶材内的应力。
3.如权利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，粗车的次数为三次。
4.如权利要求3所述的靶材的形成方法，其特征在于，每次粗车车削的厚度为0.1-1.5mm。
5.如权利要求4所述的靶材的形成方法，其特征在于，每次粗车车削的厚度为0.5mm。
6.如权利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的材料为Al、AlSi、AlCu或AlSiCu。
7.如权利要求2所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述热处理包括：将所述第二靶材坯或所述靶材升温至300-310℃，并保温20-30min。
8.如权利要求1、4或5所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的厚度为5-25mm。
9.如权利要求8所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的厚度为15mm。
10.如权利要求9所述的靶材的形成方法，其特征在于，第一靶材坯体的厚度为17mm。
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