[发明专利]用于微液滴发生的压电式喷头装置

权利要求书

1.一种用于微液滴发生的压电式喷头装置，包括带喷射腔体（12）的喷射本体、设于喷射本体一端的喷嘴（10）、以及设于喷射本体上用于提供喷射动力的压电膜片（4），其特征在于，还包括：

压力传感器（13），用于检测喷射腔体（12）内液体压力的变化，并将采集的压力信号输出；

压力波衰减机构，根据接收的压力信号，发射用于衰减所述喷射腔体（12）内残余压力波的衰减压力波。

2.根据权利要求1所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述喷射腔体（12）为圆柱形，所述压力波衰减机构包括：

固定在所述喷射腔体（12）内壁上的圆柱形压电陶瓷环（8）；

控制器，根据接收的压力信号，控制所述压电陶瓷环（8）发射衰减压力波。

3.根据权利要求2所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述喷射本体包括可拆卸连接的上腔体（5）和下腔体（11）；所述压力传感器（13）固定在上腔体（5）侧壁，所述压电膜片（4）固定在上腔体（5）端部。

4.根据权利要求3所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述上腔体（5）和下腔体（11）通过同轴设置的环形连接板（9）相互固定，上腔体（5）和下腔体（11）相互固定的两个端部之间留有间隙；所述压电陶瓷环（8）设于所述间隙内，且与所述上腔体（5）和下腔体（11）同轴设置。

5.根据权利要求4所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述上腔体（5）和下腔体（11）间设有同轴设置的固定管（7），所述压电陶瓷环（8）套设在固定管（7）外壁，且所述的固定管（7）两端通过过盈配合方式分别与上腔体（5）和下腔体（11）相互固定。

6.根据权利要求1所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述喷嘴（10）通过可拆卸方式与所述喷射本体相互固定。

7.根据权利要求1所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述喷嘴（10）由玻璃刻蚀得到。

8.根据权利要求7所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述喷嘴（10）的喷射口孔径为50-100μm。

9.根据权利要求1所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述压力传感器（13）为平膜压力传感器，量程为0-100kPa，检测时间间隔为2μs。

10.根据权利要求3所述的用于微液滴发生的压电式喷头装置，其特征在于，所述上腔体（5）顶部设有与所述喷射腔体（12）连通的安装槽；所述压电膜片（4）通过一安装板（3）固定在所述安装槽内，同时将喷射腔体（12）顶部封闭。