[发明专利]二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法无效
| 申请号： | 201310371386.2 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103487882A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 常建华;杨镇博;顾久驭;王亚炜;尹杰 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二维 质子 交换 mgo ppln 波导 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，包括如下步骤；
步骤1，抛光晶体端面；
步骤2，切割晶体+z表面形成脊波导，所述脊波导的宽度为8-20μm，切割深度为30μm；
步骤3，在衬底上，脊波导上表面、两个侧面上镀金属保护膜；
步骤4，利用精密位移控制器控制脊波导进入清洗液的深度，使脊波导部分充分浸入清洗液并确保衬底部分金属膜与清洗液不接触，清洗掉脊波导上表面以及两个侧面的金属保护膜；
步骤5，对脊波导进行质子交换、退火处理；
步骤6，清洗衬底表面金属膜。
2.根据权利要求1所述的二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，步骤2中利用机械切割方法或者激光切割方法形成脊波导。
3.根据权利要求1或2所述的二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，步骤4中使用醋酸和硝酸的混合溶液清洗脊波导。
4.根据权利要求1或2所述的二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，步骤5质子交换处理过程中：将质子交换液以及脊波导加热到185摄氏度后，进行65分钟的质子交换。
5.根据权利要求3所述的二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，步骤5中退火过程中，退火炉温度维持在355摄氏度。
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