[发明专利]硅烷法制多晶硅安全生产方法

权利要求书

1.一种硅烷法制多晶硅的安全生产方法，其特征是是以硅和氢气为原料，经氢化反应器和三氯氢硅歧化反应制备高纯硅烷，高纯硅烷直接进入热分解炉制备高纯多晶硅；高纯硅烷采用旁路调节，保持进入多晶硅热分解炉的进料稳定；反应后的硅烷与四氯化硅利用反歧化技术重新生成三氯氢硅，分离后氢气和三氯氢硅重复利用。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是所述的旁路调节，是替代了传统工艺中的硅烷储罐，调节分配比范围为0.01‐1，在还原炉临时故障时或临时停止时，硅烷能够通过旁路全部与四氯化硅直接反应，生产三氯氢硅在装置内循环，在整个装置内不存储硅烷。

3.如权利要求1所述的方法，其特征是在热分解炉内反应的尾气硅烷、氢气以及循环旁路的硅烷与四氯化硅利用反歧化催化精馏技术重新生成三氯氢硅。

4.如权利要求1所述的方法，其特征是反歧化生成的三氯氢硅与氢气分离采用水冷降至10‐40℃实现气液分离，分离后高纯氢气返回氢化反应工段，或作为西门子法制多晶硅工艺的氢源，分离后的三氯氢硅返回硅烷歧化工段作为进料循环使用。