[发明专利]光学式位移计及光学式位移运算方法

权利要求书

1.一种光学式位移计，其具有：

光源，其照射包含多个波长的第1光；

物镜，其将前述光源照射的前述第1光向样品照射，以使得前述多个波长中的每个，在光轴上的不同位置合焦；

分离部，其对来自前述样品的反射光中通过前述物镜的第2光进行分离，而射出第3光；

光学元件，其射出使前述分离部射出的前述第3光产生色差及像散而得到的第4光；

多个检测部，其对前述光学元件射出的前述第4光进行检测；以及

运算部，其基于前述多个检测部检测出的前述第4光，对从基准面起的前述样品的高度进行运算。

2.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述分离部是光纤耦合器，其将前述第2光在空间上分离，作为前述第3光而射出。

3.根据权利要求1所述的光学式位移计，其具有：

第1光纤，其使前述光源照射的前述第1光从一端入射，使前述第1光从另一端射出；以及

第2光纤，其使利用前述分离部从前述第2光分离的前述第3光射出。

4.根据权利要求3所述的光学式位移计，

前述第1光纤的前述另一端配置为，相对于前述样品的表面而处于共焦点位置。

5.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述分离部是分光器，其将前述第2光分离为反射光和透过光，将分离的反射光作为前述第3光而射出。

6.根据权利要求1所述的光学式位移计，其具有：

第1针孔，其使前述光源照射的前述第1光从一侧入射，使前述第1光从另一侧射出；以及

第2针孔，其使前述第2光从一侧入射，将前述第2光作为前述第3光从另一侧射出。

7.根据权利要求6所述的光学式位移计，

前述第1针孔配置为，相对于前述样品的表面而处于共焦点位置。

8.根据权利要求6所述的光学式位移计，

前述第2针孔配置为，相对于前述样品的表面而处于共焦点位置。

9.根据权利要求6所述的光学式位移计，

其还具有框体，该框体将前述物镜和前述第2针孔包含在其中，

前述第1针孔设置在前述框体上。

10.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述光学元件是色差透镜及圆柱透镜。

11.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述光学元件是平行平板玻璃，其配置在前述第4光的光轴上，相对于前述第4光的光轴倾斜。

12.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述多个检测部由第1～第4光电二极管构成。

13.根据权利要求12所述的光学式位移计，

在前述第1～第4光电二极管检测的值分别为A1、B1、C1、D1的情况下，利用（（A1+B1）－（C1+D1）/（A1+B1+C1+D1））的关系，对从前述基准面起的前述样品的高度进行运算。

14.根据权利要求12所述的光学式位移计，

前述第1～第4光电二极管配置在与前述第4光的光轴垂直的正方形的顶点上。

15.根据权利要求1所述的光学式位移计，

前述多个检测部由第1及第2光电二极管构成。

16.根据权利要求1所述的光学式位移计，

其具有存储部，该存储部将从前述基准面起的前述样品的高度、和前述多个检测部的输出信号的运算结果相关联而进行存储，

前述运算部基于前述多个检测部的输出信号的运算结果，从前述存储部中读出前述样品的高度。

17.根据权利要求1所述的光学式位移计，

其具有移动部，该移动部使前述光学式位移计相对于前述基准面平行地移动，

前述运算部在前述移动部使前述光学式位移计移动的过程中，对前述样品的高度进行运算。