[发明专利]一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器

权利要求书

1.一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器，包括平板高压电极（1）、α-Al₂O₃电介质层（2）、平板接地电极（3）、原料气体入口（5）、反应气体出口（6）、密封端组件（7）、冷却液腔（8）、至少二级非平衡等离子体电离腔、至少一级反应气体冷却腔（12），其特征在于：

原料气体入口（5）连接一级非平衡等离子体电离腔（9），一级非平衡等离子体电离腔和二级非平衡等离子体电离腔平行设置，在两电离腔之间增设一级反应气体冷却液腔（12），平行放置的两电离腔和冷却液腔（8）两端安装有密封端组件（7），用于引导反应气体由一级非平衡等离子体电离腔经由一级反应气体冷却腔进入二级非平衡等离子体电离腔（10）；

平板高压电极（1）两面分别覆盖α-Al₂O₃电介质层（2），α-Al₂O₃电介质层（2）与平板高压电极（1）接触的一面镀涂0.05mm厚的金属Ag或Au，镀层边缘距α-Al₂O₃电介质层（2）边缘留有8～10mm的绝缘距离，金属Ag或Au镀层与平板高压电极（1）导电连接；平板接地电极（3）与覆盖在平板高压电极（1）表面的α-Al₂O₃电介质层（2）之间构成一级非平衡等离子体电离腔（9）和二级非平衡等离子体电离腔（10）；平板接地电极（3）上设置有冷却液腔（8）；平板接地电极（3）上在冷却液腔（8）之间还设置有一级反应气体冷却腔（12），一级反应气体冷却腔（12）间隙为0.25～1.00mm，在同一等离子体反应器内反应气体冷却腔间隙距离等于或大于电离腔放电间隙距离；

用于一级非平衡等离子体电离腔（9）和二级非平衡等离子体电离腔（10）的激励电源，其输出电压范围为2～10kV，频率范围为4～10kHz；往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器工作气压控制在90～110kPa。

2.根据权利要求1所述的一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器，其特征在于：所述的α-Al2O3电介质层（2）纯度为96%～99%，相对介电常数为9～10，厚度为0.25～1.00mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器，其特征在于：所述的电离腔放电间隙距离为0.25～1.00mm。

4.一种往复式多电离腔大气压非平衡等离子体反应器，其特征在于：平板接地电极（3）和壳体采用的材料为铝或不锈钢。