[发明专利]一种柔性吸盘有效
| 申请号： | 201310376681.7 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104423171A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 方洁;夏海 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 吸盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性吸盘，包括上表面凸点和下表面凸点，上下表面为环形阵列的凸点定位面，其特征在于：在上、下表面凸点与凸点之间还开有凹槽，在吸盘的上下表面凸点与凸点之间形成柔性铰链结构，使柔性吸盘的弯曲刚度小于硅片的弯曲刚度。
2. 如权利要求1所述的柔性吸盘，其特征在于所述凹槽为圆槽或直槽。
3. 如权利要求1所述的柔性吸盘，其特征在于当所述吸盘的整体厚度（即上表面凸点顶部与下表面凸点顶部之间的距离）为2~6mm时，凸点间铰链厚度为0.2~0.6mm，铰链宽度为1~2.5mm，凹槽半径为0.5~2.5mm。
4. 如权利要求1所述的柔性吸盘，其特征在于所述柔性吸盘采用低弹性模量、低线性热膨胀系数材料制作。
5. 如权利要求1所述的柔性吸盘，其特征在于所述柔性吸盘采用微晶玻璃材质。
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