[发明专利]超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置

权利要求书

1.一种超声波换能器装置，其特征在于，

具备：

基板，具有多个开口；

振动膜，针对所述开口的每一个而存在并闭塞所述开口；

压电元件，针对每个所述开口地设置在所述振动膜上；

输入部，对所述压电元件中的一部分压电元件输入驱动信号；以及

检测部，在对所述压电元件中的一部分压电元件输入所述驱动信号的期间，所述检测部检测所述压电元件中未输入所述驱动信号的压电元件的振动。

2.根据权利要求1所述的超声波换能器装置，其特征在于，

所述超声波换能器装置具备控制处理部，

所述控制处理部根据检测未输入所述驱动信号的所述压电元件的振动的检测结果辨别所述压电元件的灵敏度。

3.根据权利要求1或2所述的超声波换能器装置，其特征在于，

多个所述开口在所述基板的厚度方向的俯视观察中配置为矩阵状或者线状，

所述检测部检测未输入所述驱动信号的所述压电元件中、与输入所述驱动信号的所述一部分压电元件邻接的压电元件的振动。

4.根据权利要求3所述的超声波换能器装置，其特征在于，

所述检测部检测未输入所述驱动信号的所述压电元件中、位于输入所述驱动信号的两个压电元件之间且与所述两个压电元件邻接的压电元件的振动。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的超声波换能器装置，其特征在于，

所述控制处理部辨别为未输入所述驱动信号的所述压电元件的灵敏度在规定值以下时，对未输入所述驱动信号的所述压电元件供给极化用电压。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的超声波换能器装置，其特征在于，

所述控制处理部辨别为未输入所述驱动信号的所述压电元件的灵敏度在规定值以下时，输出表示灵敏度在所述规定值以下的通知信号。

7.根据权利要求1所述的超声波换能器装置，其特征在于，

该超声波换能器装置具备控制处理部，

所述控制处理部根据检测未输入所述驱动信号的所述压电元件的振动的检测结果输出通知信号。

8.一种超声波换能器装置，其特征在于，

具备：

基板，具有第一开口、第二开口和作为被所述第一开口以及所述第二开口夹着的部分的隔壁部；

振动膜，闭塞所述第一开口和所述第二开口；

第一压电元件，在所述基板的厚度方向的俯视观察中，设置在所述振动膜上并包含与所述第一开口重叠的位置；

第二压电元件，在所述基板的厚度方向的俯视观察中，设置在所述振动膜上并包含与所述第二开口重叠的位置；

输入部，对所述第一压电元件输入驱动信号；以及

检测部，在对所述第一压电元件输入所述驱动信号的期间，所述检测部检测未输入所述驱动信号的所述第二压电元件的振动，

所述隔壁部具有所述基板的厚度方向的厚度比所述基板的厚度方向的俯视观察中的所述第一开口和所述第二开口之间的距离的最小值大的形状。

9.一种超声波换能器装置，其特征在于，

具备：

基板，具有配置为矩阵状或者线状的多个第一开口和配置在多个所述第一开口所配置的区域的轮廓外侧的第二开口；

振动膜，闭塞所述第一开口和所述第二开口；

第一压电元件，在所述基板的厚度方向的俯视观察中，针对多个所述第一开口的每一个地设置在所述振动膜上；

第二压电元件，在所述基板的厚度方向的俯视观察中，设置在所述振动膜上并包含与所述第二开口重叠的位置；

输入部，对所述第一压电元件输入驱动信号；以及

检测部，在对所述第一压电元件输入所述驱动信号的期间，所述检测部检测未输入所述驱动信号的所述第二压电元件的振动。

10.根据权利要求9所述的超声波换能器装置，其特征在于，

所述第一开口和所述第二开口形成为相同的形状，所述第一压电元件和所述第二压电元件形成为相同的结构。