[发明专利]一种矩形平面磁控溅射阴极

权利要求书

1.一种矩形平面磁控溅射阴极,包括中靶材压条(1)、中压条(2)、边靶材压条(3)、边压条(4)、背板(5)、冷却板(6)、阴极座(7)、支撑块(8)、磁轭（9）、中立柱（10）、中磁铁（11）、中磁靴（12）、边磁铁（13）、边磁靴（14）和靶材（15），其特征在于阴极座(7)为不导磁的不锈钢材料，阴极座内设有磁轭(9)，磁轭(9)为高导磁材料并通过螺栓和阴极座(7)固定在一起，磁轭(9)上设有磁铁组件，所述的磁铁组件包括四列磁铁，中部两列为中磁铁，极性相同；两侧为边磁铁，极性相同，中磁铁和边磁铁极性相反；磁铁上部设有磁靴，磁铁组件顶部设有冷却板，冷却板顶部设有背板，背板上部设有靶材，所述的阴极座（7）宽度大于两侧边磁铁的总跨度，靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。

2.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的阴极座的宽度大于两侧边磁铁的总跨度的1.5倍，靶材(15)的总跨度大于边磁铁(13)总跨度的1.5倍。

3.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的冷却板(6)的材料为铜。

4.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的两中磁铁之间设有中立柱(10)，两边磁铁与阴极座(7)之间分别设有支撑块(8)，冷却板(6)的中间位置由中立柱(10)支撑，两侧分别由支撑块(8)和阴极座(7)支撑。

5.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的背板（5)上部安装中压条(2)和边压条(4)。

6.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的阴极能允许靶材水平旋转180°安装，旋转后第一次的刻蚀区域被移开。

7.如权利要求1所述的一种矩形平面磁控溅射阴极，其特征在于所述的冷却板6、中压条(2)和边压条(4)、背板（5）、中立柱（10）之间通过螺栓固定在阴极座7上且通过螺栓的紧固力将密封材料压紧，支撑块（8）、背板（5）、冷却板（6）通过螺栓紧固在一起并把密封材料压紧，形成对冷却水通道的密封。