[发明专利]一种控温CVD炉及采用控温CVD炉可控制备单壁碳纳米管的方法无效
申请号: | 201310379783.4 | 申请日: | 2013-08-27 |
公开(公告)号: | CN103466594A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 赵廷凯;李铁虎;赵星 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82Y40/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 采用 可控 制备 单壁碳 纳米 方法 | ||
1.一种改进型的控温CVD炉,包括温度控制仪(1)、气体流量计(2)、石英舟(3)、电阻炉炉体(4)、石英管反应室(6)、气体洗瓶(7)和其热电偶(8);其特征在于还包括一对电极板(5);所述一对电极板设置在石英管反应室(6)的内部,且平行相对位于石英管反应室(6)的内壁上。
2.一种采用权利要求1所述的改进型的控温CVD炉控制备单壁碳纳米管的方法,其特征在于步骤如下:
步骤1:调节电极板间距为1~10cm,直流电压小于等于200V;
步骤2:通入催化剂为小于等于总量10wt%的含有二茂铁、羰基铁、噻吩、钼酸铵及金属镍、镁、钴、铁一种或多种的混合物;碳源为甲烷、乙炔或乙烯的一种或者多种的混合物,其流量小于等于10-500mL/min;
步骤3:在氩气、氮气或氢气的气氛下进行反应,在反应容器中形成金属性和半导体型单壁碳纳米管。
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