[发明专利]微型正交激励磁通门传感器

权利要求书

1.一种微型正交激励磁通门传感器，其特征在于包括衬底（1）、激励线（2）、铁芯（3）、感应线圈（4）、绝缘层（5）、激励线焊盘（6）和感应线圈焊盘（7）；所述衬底（1）是带有SiO₂绝缘层（5）的Si衬底（1），衬底（1）上S型排列着四根或二十根激励线（2）和分为一段或十段的铁芯（3）作为中间层，中间层被与之垂直的感应线圈（4）包围，感应线圈（4）与铁芯（3）之间由聚酰亚胺作为绝缘层（5）；衬底（1）用于为整个结构提供支撑；激励线（2）采用平行排列的多组Cu导线组成，这些平行导线在两边线端处通过与它们垂直的导线串行连接形成S型；激励线（2）和感应线圈（4）分别连接到位于衬底（1）上的激励线焊盘（6）和感应线圈焊盘（7）上；三维螺线管上下层通过通孔（8）连接，其两端分别连接到位于衬底（1）上的感应线圈焊盘（7）上，用于引线。

2.根据权利要求1所述的微型正交激励磁通门传感器，其特征在于：所述感应线圈（4）是三维螺线管线圈；三维螺线管的每一匝都与激励线（2）垂直，三维螺线管的一侧通过直角连接到间隔一匝的线圈，三维螺线管的另一侧转接的线圈形成一组螺线管，将两组螺线管串联形成感应线圈（4）。

3.根据权利要求2所述的微型正交激励磁通门传感器，其特征在于：所述三维螺线管中任意导线均与铁芯（3）垂直。