[发明专利]第III族氮化物半导体发光器件有效
申请号: | 201310381656.8 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN103682001A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 奥野浩司 | 申请(专利权)人: | 丰田合成株式会社 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;全万志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | iii 氮化物 半导体 发光 器件 | ||
1.一种在n型覆层和p型覆层之间具有发光层的第III族氮化物半导体发光器件,所述发光层具有MQW结构,其中:
所述发光层具有其中重复沉积有多个层单元的结构,每个层单元包括依次沉积的阱层和势垒层,所述势垒层的带隙大于所述阱层的带隙;
在所述阱层和所述势垒层之间形成有AlGaN层,所述AlGaN层的Al组成比大于所述势垒层的Al组成比;以及
所述发光层包括在所述n型覆层侧的前部和在所述p型覆层侧的后部这两个部分,其中在所述前部中所述AlGaN层的平均Al组成比低于在所述后部中所述AlGaN层的平均Al组成比。
2.根据权利要求1所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部中所述AlGaN层的平均Al组成比是在所述后部中所述AlGaN层的平均Al组成比的0.2至0.8倍。
3.根据权利要求2所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述发光层具有三至十二个层单元。
4.根据权利要求1所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述发光层在所述前部中具有一至九个层单元。
5.根据权利要求2所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述发光层在所述前部中具有一至九个层单元。
6.根据权利要求4所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述发光层在所述后部中具有二至十一个层单元。
7.根据权利要求5所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述发光层在所述后部中具有二至十一个层单元。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述阱层和所述AlGaN层之间形成有盖层,所述盖层的带隙大于所述阱层的带隙并且小于所述势垒层的带隙。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部中的所述AlGaN层中的每一个具有相同的Al组成比,并且在所述后部中的所述AlGaN层中的每一个具有相同的Al组成比。
10.根据权利要求1至7中任一项所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部和所述后部中的至少一个部分中所述AlGaN层的Al组成比随着层单元的数目的增加而从所述n型覆层侧朝所述p型覆层侧单调递增。
11.根据权利要求10所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部和所述后部中所述AlGaN层的Al组成比按一个层单元或几个层单元的方式从所述n型覆层侧朝所述p型覆层侧单调递增。
12.根据权利要求8所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述势垒层由AlGaN形成。
13.根据权利要求12所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中所述盖层由GaN形成。
14.根据权利要求8所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部中所述AlGaN层中的每一个具有相同的Al组成比,并且在所述后部中所述AlGaN层中的每一个具有相同的Al组成比。
15.根据权利要求8所述的第III族氮化物半导体发光器件,其中在所述前部和所述后部中的至少一个部分中所述AlGaN层的所述Al组成比随着层单元的数目的增加而从所述n型覆层侧朝所述p型覆层侧单调递增。
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