[发明专利]划线方法和用于划线的喷砂机

权利要求书

1.一种通过喷砂划线的方法，包括：

使用包括喷嘴的喷砂机和磨料，所述喷嘴具有宽度为10μm到500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口；所述磨料的中值直径等于或小于所述喷嘴的喷射开口的宽度的二分之一，所述磨料的最大粒子直径小于所述喷射开口的宽度，从所述喷嘴喷射所述磨料和压缩气体；以及

以0.1mm到3.0mm的喷射距离以及0.2Mpa到0.6Mpa的喷射压强向没有遮掩的工件的表面喷射所述磨料和所述压缩气体，以便所述磨料的喷射数量为：相对于1000cm³的所述压缩气体数量等于或小于0.25cm³。

2.根据权利要求1所述的通过喷砂划线的方法，其中，

在所述磨料的喷射位置邻近所述工件的表面抽吸并回收所述工件上的磨料和切割芯片粉末。

3.根据权利要求1所述的通过喷砂划线的方法，其中，

所述磨料具有等于或大于5的比重。

4.根据权利要求1所述的通过喷砂划线的方法，其中，

所述工件为在太阳能电池的导电层上形成的光电转换层，所述光电转换层的硬度低于所述导电层的硬度；以及

所述磨料的硬度高于所述光电转换层的硬度，并且低于所述导电层的硬度。

5.一种喷砂机，包括：

喷嘴，所述喷嘴具有宽度为10μm至500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口，从所述喷嘴喷射磨料和压缩气体；以及

用于提供恒定量磨料的设备，其中以0.2Mpa到0.6Mpa的喷射压强将所述磨料连同所述压缩气体定量地提供至所述喷嘴，以便所述磨料的喷射数量为：相对于1000cm³的所述压缩气体数量等于或小于0.25cm³。

6.根据权利要求5所述的喷砂机，还包括：

流通道，该流通道包括引流通道和整流部分，所述引流通道将压缩气体和磨料的混合流体引入至所述喷嘴，所述整流部分将通过所述引流通道引入的所述混合流体整流成狭缝状的流并且将所述混合流体引入所述喷射开口，其中，

所述整流部分形成为由第一平坦表面、倾斜表面、以及横截面与所述磨料的移动方向平行且与所述喷射开口的纵向垂直的第二平坦表面限定的空间，所述第一平坦表面与所述磨料的移动方向平行，所述倾斜表面随着该倾斜表面从所述引流通道向所述喷射开口延伸而逐渐倾斜同时靠近所述第一平坦表面，所述第二平坦表面是所述倾斜表面的延续部分，并且以一定的距离与所述第一平坦表面平行，所述距离等于所述喷射开口的宽度。

7.根据权利要求5所述的喷砂机，其中，

来自所述用于提供恒定量磨料的设备的流通道分支为多个流通道，所述分支出的流通道中的每一个与所述喷嘴连通。