[发明专利]一种柱形体侧柱面镀膜装置及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述柱形体侧柱面镀膜装置包括组合架、用于把所述组合架安装在真空镀膜设备上的固定支撑轴、用于与所述真空镀膜设备的水平旋转机构连接的衔接件、传动轴、转动轴和用于将所述水平旋转机构的水平旋转转换成所述转动轴的自转的换向单元；

所述传动轴的第一端通过所述衔接件与所述水平旋转机构连接；所述传动轴的第二端通过所述换向单元与所述转动轴连接转；

所述转动轴安装在所述组合架上；所述转动轴的内部为用于放柱形体样品的空腔结构；所述转动轴的一端形有开口；所述开口与所述柱形体样品上需要镀膜的部分对应设置。

2.根据权利要求1所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述组合架包括本体和延伸臂；所述延伸臂设置在所述本体上；所述固定支撑轴与所述本体连接；所述转动轴安装在所述延伸臂上。

3.根据权利要求2所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述转动轴通过轴承转动地安装在所述延伸臂中。

4.根据权利要求2所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，两个所述延伸臂间隔地设置在所述本体上；所述转动轴的两端分别转动地安装在两个所述延伸臂中；所述换向单元包括第一传动件和第二传动件；所述第一传动件安装在所述传动轴的所述第二端；所述第二传动件设置在所述转动轴上并与所述第一传动件啮合；所述第一传动件和所述第二传动件为相互配合的圆锥齿轮传动、螺旋齿轮传动或蜗轮蜗杆传动。

5.根据权利要求4所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，多个所述转动轴相互平行且间隔地设置在两个所述延伸臂之间，而且相邻的所述转动轴之间通过齿轮传动连接。

6.根据权利要求2所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述换向单元包括换向弹簧；所述换向弹簧将所述传动轴的所述第二端与所述转动轴的一端连接。

7.根据权利要求6所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述换向弹簧为弯曲弹簧；通过弯折所述弯曲弹簧来调节所述弯曲弹簧的弯曲角度，从而调节所述转动轴的轴线与水平面之间的夹角。

8.根据权利要求7所述的柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述组合架包括本体和延伸臂；所述延伸臂设置在所述本体上并呈弧形；所述固定支撑轴与所述本体连接；所述转动轴安装在所述延伸臂上。

9.一种真空镀膜设备，包括水平旋转机构；其特征在于，所述真空镀膜设备还包括如权利要求1至8中任何一项所述的柱形体侧柱面镀膜装置；所述柱形体侧柱面镀膜装置的衔接件与所述水平旋转机构连接。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括顶盖或隔热板；所述柱形体侧柱面镀膜装置的固定支撑轴的一端与所述组合架连接，另一端与所述顶盖或隔热板连接。