[发明专利]掺铝氧化锌薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将稳定剂分散于锌源化合物的溶液中后，加入铝源化合物进行搅拌，静置陈化，得到掺铝氧化锌凝胶；其中，所述锌源化合物与铝源化合物的摩尔比为95～99.5:5～0.5；

将所述凝胶在基板上涂膜，干燥，预热处理，得到掺铝氧化锌薄膜前驱体；

将所述薄膜前驱体在H₂与N₂的混合气体、N₂、Ar、空气中的任一种气氛中进行热处理后冷却，得到所述掺铝氧化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述基板的表面附有缓冲层，所述缓冲层的材质为CdS或ZnS。

3.根据权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，在制备所述掺铝氧化锌薄膜前驱体的步骤中，所述涂膜、干燥、预热处理的步骤重复5～20次。

4.根据权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，在制备所述掺铝氧化锌薄膜前驱体的步骤中，所述干燥的温度为80～120℃，时间为5～30分钟；和/或所述预热处理的温度为200～300℃，时间为10～60分钟。

5.根据权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述薄膜前驱体经热处理后的冷却处理是在H₂与N₂的混合气体、N₂、Ar、空气中的任一种气氛中自然冷却。

6.根据权利要求1～5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述锌源化合物为醋酸锌、丙烯酸锌、乙酰丙酮锌、丙酸锌、硝酸锌中的至少一种。

7.根据权利要求1～5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述铝源化合物为硝酸铝、氯化铝、三乙醇铝、乙酰丙酮铝、氢氧化铝中的至少一种。

8.根据权利要求1～5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，在将稳定剂分散于锌源化合物的溶液之前还包含溶解锌源化合物的步骤，溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇丁醚、、甲醇、乙醇、异丙醇中的至少一种。

9.根据权利要求1～5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述稳定剂为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、二异丙胺、氨水中的至少一种。

10.一种掺铝氧化锌薄膜，由权利要求1～9所述的掺铝氧化锌薄膜制备方法制备而成。