[发明专利]像面相移数字全息显微系统及其显微方法

权利要求书

1.一种像面相移数字全息显微系统，其特征在于，所述显微系统包括：

激光器，用于产生激光光束；

分束单元，用于将激光器产生的激光光束分为照明光束和参考光束；

照明光束传输单元，包括显微物镜，显微物镜利用照明光束对物体进行显微，提供第一光束；

参考光束传输单元，包括相移器，用于在参考光束引入相移，提供第二光束；

合束单元，用于对第一光束和第二光束进行合束干涉，产生相移全息图；

成像单元，用于记录合束单元产生的相移全息图。

2.根据权利要求1所述的显微系统，其特征在于，所述参考光束传输单元沿参考光束传输方向依次包括第一反射镜、扩束透镜、准直透镜、第二反射镜，所述相移器与第二反射镜相连。

3.根据权利要求1所述的显微系统，其特征在于，所述分束单元包括分束棱镜，合束单元包括合束棱镜。

4.根据权利要求4所述的显微系统，其特征在于，所述激光器产生的光束经分束单元分束后的照明光束和参考光束相互垂直。

5.根据权利要求1所述的显微系统，其特征在于，所述显微物镜位于分束单元和合束单元之间，成像单元位于分束单元和合束单元直线上合束单元一侧。

6.根据权利要求1所述的显微系统，其特征在于，所述显微物镜位于分束单元和合束单元直线上合束单元一侧，成像单元位于合束单元旁侧且在第二光束的延长线上。

7.一种如权利要求1所述的像面相移数字全息显微系统的显微方法，其特征在于，所述显微方法包括：

产生激光光束；

将激光器产生的激光光束分为照明光束和参考光束；

显微物镜利用照明光束对物体进行显微，提供第一光束；

相移器在参考光束引入相移，提供第二光束；

对第一光束和第二光束进行合束干涉，产生相移全息图；

记录产生的相移全息图。

8.根据权利要求7所述的显微方法，其特征在于，所述显微方法还包括：

对相移全息图处理，调节相移器相移的大小，实现任意步长相移物体的相位再现。

9.根据权利要求7所述的显微方法，其特征在于，所述显微方法还包括：

对相移全息图处理，调节相移器相移的大小，校正相位误差。