[发明专利]一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置

权利要求书

1.一种非接触式检测曲面棱镜的方法，其特征在于，所述方法包括：

将单色平面光射入到待测曲面棱镜后，形成球面波与平面波的叠加；

再通过平面棱镜调整波面的传播方向，并通过校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差；

由图像接收器件接收校正处理后的图像，所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样；

根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。

2.根据权利要求1所述非接触式检测曲面棱镜的方法，其特征在于，

所述待测曲面棱镜的前后通光面都是球面，所采用的材料为光学玻璃、晶体材料或光学塑料，其折射率n的取值范围为：1<n<2。

3.根据权利要求1或2所述非接触式检测曲面棱镜的方法，其特征在于，所述根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求，具体包括：

将所述图像接收器件接收到图像的数字影像灰度值曲线与计算机系统仿真的衍射图像进行对比，若两者的半高宽之差在半个像元以内，则判断所述待测曲面棱镜达到精度要求。

4.一种非接触式检测曲面棱镜的装置，其特征在于，所述装置包括单色光源、平面棱镜、校正镜组和图像接收器件，其中：

所述单色光源发出单色平面光，并射入到待测曲面棱镜，形成球面波与平面波的叠加；

再通过所述平面棱镜调整波面的传播方向，并通过所述校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差；

由所述图像接收器件接收校正处理后的图像，所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样，并根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。

5.如权利要求4所述非接触式检测曲面棱镜的装置，其特征在于，

所述单色光源为平行光管或Zygo干涉仪的输出端，且口径覆盖所述待测曲面棱镜的有效口径。

6.如权利要求4所述非接触式检测曲面棱镜的装置，其特征在于，

所述图像接收器件为光电探测器或读数显微镜。

7.如权利要求4所述非接触式检测曲面棱镜的装置，其特征在于，

所述平面棱镜为传统三棱镜，所采用的材料为光学玻璃或光学晶体，其折射率n的取值范围为：1<n<2。

8.如权利要求4所述非接触式检测曲面棱镜的装置，其特征在于，

所述校正镜组由2块以上的透镜组成，所采用的材料为光学玻璃或光学晶体，其折射率n的取值范围为：1<n<2。