[发明专利]一种LED芯片电极的制作方法、LED芯片及LED有效
申请号: | 201310386540.3 | 申请日: | 2013-08-29 |
公开(公告)号: | CN103489966A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 刘晶;叶国光 | 申请(专利权)人: | 刘晶 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/14;H01L33/40 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 汤喜友 |
地址: | 529000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 电极 制作方法 | ||
1.一种LED芯片电极的制造方法,包括在衬底上依次生长出N型半导体层,发光层和P型半导体层;在所述P型半导体层上刻蚀部分区域,去除该区域的P型半导体层、发光层至显露负N型半导体层;显露的N型半导体层形成N型电极区,用于制作N型电极,未被蚀刻的P型半导体层形成P型电极区,用于制作P型电极,其特征在于所述P型电极的制作方法包括以下步骤:
1)在所述P型电极区上需要制作P型电极的区域镀上与P型半导体层非奥姆接触的第一电极接触层;
2)在所述第一电极接触层上镀上电流阻挡层;
3)在所述P型电极区上,未被上述第一电极接触层和电流阻挡层覆盖的区域镀上电流扩散层;
4)在所述电流阻挡层上镀上与电流扩散层欧姆接触的第二电极接触层;
5)在所述第二电极接触层上镀上第三电极接触层;
6)在所述第三电极接触层上采用化学方法镀上材料为金的电极焊线层。
2.根据权利要求1所述的一种LED芯片电极的制造方法,其特征在于:所述N型电极的制作方法包括,在所述第5)和第6)步中,在P型电极区上镀上第三电极接触层和电极焊线层时,也同时在N型电极区上镀上第三电极接触层和电极焊线层。
3.根据权利要求2所述的一种LED芯片电极的制造方法,其特征在于:所述N型电极的制作方法包括,在所述第1)、第2)和第4)步中,在所述P型电极区上镀上第一电极接触层、电流阻挡层和第二电极接触层时,也同时在N型电极区上镀上第一电极接触层、电流阻挡层和第二电极接触层。
4.根据权利要求1所述的一种LED芯片电极的制造方法,其特征在于:所述第一电极接触层的材料为:Ti或Cr或Al或Ag或Pt,所述电流阻挡层的材料为:TiO2或Al2O3或SiO2或Si3N4或ZnO。
5.根据权利要求1所述的一种LED芯片电极的制造方法,其特征在于:所述第二电极接触层的材料为:Ti或Ni,所述第三电极接触层的材料为Au或Pt或Cr或Wu或Pd。
6.一种LED芯片,包括衬底,和依次覆盖在衬底上的N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层上的部分区域被去除至显露N型半导体层,所述显露的N型半导体层上设置有N型电极,所述P型半导体层上未被去除的区域设置有P型电极,其特征在于:所述P型电极包括有第一电极接触层,所述第一接触层上设置有电流阻挡层,所述P型半导体层上除电流阻挡层覆盖的区域以外设置有电流扩散层,所述电流阻挡层上设置有第二电极接触层,所述第二电极接触层上设置有第三电极接触层,所述第二电极接触层和第三电极接触层与电流扩散层欧姆接触,所述第三电极接触层上设置有材料为金的电极焊线层。
7.根据权利要求6所述的一种LED芯片,其特征在于:所述N型电极包括与P型电极相同的所述第三电极层和材料为金的电极焊线层。
8.根据权利要求7所述的一种LED芯片,其特征在于:所述N型电极还包括有与P型电极相同的所述第一电极接触层、电流阻挡层和第二电极接触层。
9.一种LED,包括支架、安装于支架上芯片、电连接芯片与支架的焊线和焊点、覆盖所述支架和芯片的封装胶体,所述芯片包括衬底,和依次覆盖在衬底上的N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层上的部分区域被去除至显露N型半导体层,所述显露的N型半导体层上设置有N型电极,所述P型半导体层上未被去除的区域设置有P型电极,其特征在于:所述P型电极包括有第一电极接触层,所述第一接触层上设置有电流阻挡层,所述P型半导体层上除电流阻挡层覆盖的区域以外设置有电流扩散层,所述电流阻挡层上设置有第二电极接触层,所述第二电极接触层上设置有第三电极接触层,所述第二电极接触层和第三电极接触层与电流扩散层欧姆接触,所述第三电极接触层上设置有材料为金的电极焊线层,所述焊线和焊点材料为:Au、Al、Ag、Pd、Cu或前述两种以上的合金材料的组合合金。10、根据权利要求9所述的一种LED,其特征在于:所述N型电极包括与P型电极相同的所述第一电极接触层、电流阻挡层、第二电极接触层、第三电极层和材料为金的电极焊线层。
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