[发明专利]一种电脑硬盘用高效无腐蚀化学抛光组合物无效
| 申请号： | 201310387773.5 | 申请日： | 2013-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103436179A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张竹香 | 申请（专利权）人： | 青岛承天伟业机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266199 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电脑 硬盘 高效 腐蚀 化学抛光 组合 | ||
技术领域
本发明涉及一种电脑硬盘用高效无腐蚀化学抛光组合物。
背景技术
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的 CMP 方法或商购的 CMP 组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种电脑硬盘用高效无腐蚀化学抛光组合物。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
一种电脑硬盘用高效无腐蚀化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三乙醇胺25-32份，EDTA1-5份，除油剂3-8份，除油粉7-12份，表调剂11-15份，硫酸钾8-10份，无水硫酸钠10-16份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，空心玻璃微珠9-13份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。
本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
具体实施方式
实施例1
一种电脑硬盘用高效无腐蚀化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三乙醇胺25-32份，EDTA1-5份，除油剂3-8份，除油粉7-12份，表调剂11-15份，硫酸钾8-10份，无水硫酸钠10-16份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，空心玻璃微珠9-13份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。
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