[发明专利]一种半导体晶片绿色环保抛光剂无效
| 申请号： | 201310387806.6 | 申请日： | 2013-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103436184A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张竹香 | 申请（专利权）人： | 青岛承天伟业机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266199 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 晶片 绿色 环保 抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体晶片绿色环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：二氧化氯11-16份，盐酸2-4份，氧化铜1-3份，氧化锌3-5份，锌粉1-2份，氧化铅1-2份，酒石酸1-3份，羟乙基纤维素2-6份，苯甲酸甲酯1-3份，聚乙烯醇5-9份，氯苯1-3份，纳米硫酸钙2-8份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH调节剂1-3份。
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