[发明专利]用于双探针原子力显微镜的激光测力系统

权利要求书

1.用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：它包括第一激光力学子系统和第二激光力学子系统，所述第一激光力学子系统用于探测双探针原子力显微镜的第一探针手臂的信号，第二激光力学子系统用于探测双探针原子力显微镜的第二探针手臂的信号，所述第一激光力学子系统与第二激光力学子系统的结构相同，所述第一激光力学子系统包括用于调节激光角度的激光角度调整机构(1)、激光器(2)、入射光凸透镜(9)、用于调节入射光凸透镜(9)的位置的入射凸透镜调整机构(4)、反射镜(8)、反射激光凸透镜(5)、用于调节反射激光凸透镜(5)的位置的反射凸透镜调整机构(6)、四象限位置检测器(7)和用于调节四象限位置检测器(7)的位置的四象限位置检测器调整机构(3)；

第一激光力学子系统中，激光器(2)固定在激光角度调整机构(1)上，四象限位置检测器(7)固定在四象限位置检测器调整机构(3)上，入射光凸透镜(9)固定在入射凸透镜调整机构(4)上，反射激光凸透镜(5)固定在反射凸透镜调整机构(6)上，激光器(2)发出的激光经过入射光凸透镜(9)后聚焦在双探针原子力显微镜的第一探针手臂的针尖上，经所述针尖反射后的激光入射至反射镜(8)的表面，经反射镜(8)反射后的激光入射至反射激光凸透镜(5)，经过反射激光凸透镜(5)后聚焦在四象限位置检测器(7)的探测面上；

第二激光力学子系统中，激光器(2)固定在激光角度调整机构(1)上，四象限位置检测器(7)固定在四象限位置检测器调整机构(3)上，入射光凸透镜(9)固定在入射凸透镜调整机构(4)上，反射激光凸透镜(5)固定在反射凸透镜调整机构(6)上，激光器(2)发出的激光经过入射光凸透镜(9)后聚焦在双探针原子力显微镜的第二探针手臂的针尖上，经所述针尖反射后的激光入射至反射镜(8)的表面，经反射镜(8)反射后的激光入射至反射激光凸透镜(5)，经过反射激光凸透镜(5)后聚焦在四象限位置检测器(7)的探测面上。

2.根据权利要求1所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：第一激光力学子系统中，激光器(2)发出的激光、经第一探针手臂的针尖反射后的激光以及经反射镜(8)反射后的激光在同一平面内，所述平面为S1面；第二激光力学子系统中，激光器(2)发出的激光、经第一探针手臂的针尖反射后的激光以及经反射镜(8)反射后的激光在同一平面内，所述平面为S2面。

3.根据权利要求2所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的S1面与S2面重合。

4.根据权利要求1、2或3所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的第一激光力学子系统中的激光角度调整机构(1)、入射凸透镜调整机构(4)、反射镜(8)、反射凸透镜调整机构(6)、四象限位置检测器调整机构(3)、第二激光力学子系统中的激光角度调整机构(1)、入射凸透镜调整机构(4)、反射镜(8)、反射凸透镜调整机构(6)和四象限位置检测器调整机构(3)均固定在底板(10)上。

5.根据权利要求4所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的底板(10)上设置有安装孔。

6.根据权利要求1、2、3或5所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的入射凸透镜调整机构(4)采用一维调整微平台实现。

7.根据权利要求1、2、3或5所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的反射凸透镜调整机构(6)采用一维调整微平台实现。

8.根据权利要求1、2、3或5所述的用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，其特征在于：所述的四象限位置检测器调整机构(3)采用二维调整微平台实现。